[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 IW1]H~1w  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 -RH ?FJ  
y9)l,@D  
1）标量衍射理论设计 Ruk6+U  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 #G{T(0<F  
L6A6|+H%E  
         [bT@Y:X@`  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ?I/,r2ODLh  
                           {fN_itn  
.(1$Q6yG  
（b）达曼光栅衍射效率 rjR  
uV 6f~cQ  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 PUYo >eB)0  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 KuI>:i;  
dadMwe_l0  
                               $oua]8!  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） !s)$_tG  
aQ~x$T|  
b]g.
>$[nX  
（b）达曼光栅衍射效率 {G{@bUG]p  
$qrr]U  
3）rsoft仿真 Io"=X!k  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） dnaf>G3  
7T2W%JT-,  
                 #i]@"R  
（a）标量衍射结果结构图     UZAWh R  
[ $"iO#oO  
&'](T9kg=  
（b）衍射效率             l9L;Tjj  
v S+~4Q41  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 .$OInh  
b{dzbmak  
                       Sl_zO?/PF  
（a）矢量衍射结果结构图   8DI|+`OgW  
$cy:G  
                               */+s^{W7  
（b）衍射效率     e-K8K+7  
{oJa8~P  
2、偶数型达曼光栅设计 :<v$vER,&  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 BxT~1SBFq  
                     ?rK%;GTo  
（a）结构图 JWn{nJ$]  
d!LV@</  
q7PRJX  
（b）衍射效率                                                                     dDuA%V0  
T8(wzs  
                                   $tKATL*  
（a）结构图 eS=k 48'U  
:hr@>Y~r  
       m{5$4v,[
 
（b）衍射效率