1、奇数型达曼
光栅设计
4J=6A4O5Z 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
OW (45
D(}w$hi8 1）标量衍射理论设计
@V/Lqia 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
O2|[g8(_F z~TG ~_s 
\Kph?l9Ww （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
`I(#.* sd;J(<Ofh 
2IgTB|2 （b）达曼光栅衍射效率
RbUhLcG5 box(FjrZE 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
?*i qg[: 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
vEJ2d& <}~` YU>=v 
, Vz
1l _7 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
)D
^.{70N TqbDj|7`R 
Mp=2 }d%P （b）达曼光栅衍射效率
2Y~6~*8 *~ GE`:bC3 3）rsoft仿真
nJJ9>#<g$ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
]I9Hbw Mp:/[%9Fi 
(?SK< 4! （a）标量衍射结果结构图
x0^O? UR h+e Oe } 
Y>KRI2](< （b）衍射效率
d\aarhD8* Si,[7um rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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^ v*1KA& 
BU[ .P] （a）矢量衍射结果结构图
V[f-Nj Kf $x,?+N 
,?Pn-aC + （b）衍射效率
oQgd]| v b #U
nE 2、偶数型达曼光栅设计
! 8q +W`{ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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=M"H~;f] （a）结构图
'=!@s1;{[; e)dPv: oK3 
yT Pi/=G （b）衍射效率
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zk8 o[4 （a）结构图
k0IW,z% %c%0pGn8- 
NG-Wn+W@b （b）衍射效率
