1、奇数型达曼
光栅设计
KJs/4oR; 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
v90)G8|q oPbxe 1）标量衍射理论设计
xh90 q m 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
\-h%z%{R v 0 3 
L 3@up b （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
.^F(&c*[' 4[ .DQ#r 
Jfe<$-$$7 （b）达曼光栅衍射效率
*}@zxFe + :|5 \XV)> 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
`a + "[% 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
;Pd nE~ ?nwFc3qw 
`zw^ WbCO{ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
r2xXS&9!| 1[ 4)Sq? 
`p'(:W3a （b）达曼光栅衍射效率
+%'!+r
l xl]1{$1M 3）rsoft仿真
A#@9|3 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
je [1>\3W ;WqWD-C 
DDwj[' R （a）标量衍射结果结构图
JK/VIu&! fK?/o]vq 
5dNM:1VoE （b）衍射效率
o ]jPG knS(\51A rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
>Hd0 l L 6]D%|R,Q#} 
\8} !aTC （a）矢量衍射结果结构图
s-[v[w'E !Y95e'f.x 
[vV5@nP: （b）衍射效率
.IkQo`_s: &$V&gAN 2、偶数型达曼光栅设计
$[*QsU%% 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
kM;fxR:- 
)/{zTg8$?/ （a）结构图
Ks>l=5~v| .G ~ Y`0 
/]@1IC{Lk （b）衍射效率
n]Z() "D YK V?I
7/># yR （a）结构图
:5DL&,,Q3 = 9K5f# ;e 
!C3o zZ< （b）衍射效率
