1、奇数型达曼
光栅设计
<.".,Na(J0 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
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<d S#:l17e3 1）标量衍射理论设计
Q$(Fm a 4a 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
OE*Y%*b D$N;Qb 
U0U y
C （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
LwYWgT\e ! k 1 Ge+ 
JED\"(d( （b）达曼光栅衍射效率
}i{A4f ` k(he<-GF\ 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
e|N~tUVrrN 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
$*;`$5.x ^ |j~l%d*<w 
}O Y/0p-Z （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
pX+4B=* UmR4zGM} 
F3hG8YX （b）达曼光栅衍射效率
.cm2L,1h %=!] 1 3）rsoft仿真
E> +>!On)b 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
y @S_CB 47 k%BU&%?1 
)k;;O7C k （a）标量衍射结果结构图
F1A40h7R$Y 4*&k~0#t 
#_{Q&QUk （b）衍射效率
=*1NVi $n 7[PEiAI rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
tuL NGU 0` .5gxm 
4jt(tZS （a）矢量衍射结果结构图
AmC?qoEWQ7 2vWn(6` 
-n8d#Qm ) （b）衍射效率
hD=.rDvO Uo71C 4ev 2、偶数型达曼光栅设计
c_8<N7 C 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
F WA?mde 
T7%!JBg@ （a）结构图
LT"H -fTgs ^GyZycch 
ES?*w@x （b）衍射效率
vd)zvI \ 5 rJ 
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HXhl （a）结构图
|R1T;J<[ &7oL2 Wf 
R3;%ey u （b）衍射效率
