[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 .{ljhE:  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 dQ-shfTr]  
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1）标量衍射理论设计 60$;Q,]o  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 (`E`xb@E,=  
Sw"h!\c`  
         .U@u |  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） u kZK*Y9P  
                           |4 \2,M
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trrK6(p  
（b）达曼光栅衍射效率 _izjvg  
^VG].6  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 IzUpkwN  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ~8mz.ZdY  
.zt&HI.F  
                               GH-Fqz  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） uKXD(lzX  
GiM-8y~  
M
&29J  
（b）达曼光栅衍射效率 ];6955I!  
V>Z4gZp5sc  
3）rsoft仿真 NyRa.hgZ;  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ~CV.Ci.dG  
PWx%~U.8~j  
                 +a|Q)Ob  
（a）标量衍射结果结构图     }v|_]   
Pp8G2|bz  
Q4LPi;{\  
（b）衍射效率            
^M
q@} 0  
/ILd|j(e  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 {5X,xdzR  
Q8h0.(#-  
                       5VOw}{Pt  
（a）矢量衍射结果结构图   ercXw7{  
T*0;3&sA  
                              
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f0~  
（b）衍射效率     ilJ`_QN  
/J_],KdU  
2、偶数型达曼光栅设计 5XHejHn>  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 %]0?vw:;j  
                     CR9wp]-Vd  
（a）结构图 wf]?:'}  
W]7<PL*u  
D^m2iW;  
（b）衍射效率                                                                     =Hd#"9-  
EKF4]  
                                   R?:Q=7K  
（a）结构图 6=$<R4B  
$6*Yh-"g  
       \a|~#N3?  
（b）衍射效率