[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 2cCiHEL#  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 "2mPWRItO  
&y!?R$?b  
1）标量衍射理论设计 z0[@O)Sj  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 REW[`MBQ  
z+MH co"  
         K<P d.:  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） fJS:46  
                           a=2.Y?  
\_Bj"K  
（b）达曼光栅衍射效率 |62` {+  
XPdmz!,b  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 -8l<5g7  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 *(9Tl]w  
vT?^#  
                               b~aM=71  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 8?Zhh.  
RHUZ:r  
G*9(O:  
（b）达曼光栅衍射效率 .!3e$mhV  
6?a`'&  
3）rsoft仿真 -#Zvj
Eaey  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） {s8c@-'  
1_+ h"LE  
                 ?tLApy^`?  
（a）标量衍射结果结构图     O},}-%G  
G4(R/<J,BQ  
`*s:[k5k  
（b）衍射效率             :+\0.\K0!  
AR[m+E  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 DhE-g<  
}a;xs};X;  
                       ?~o`
mg  
（a）矢量衍射结果结构图   yXU.PSG*  
*qzdt^[ xo  
                               3-/|G-4k7  
（b）衍射效率     {;{U@Z  
VM$n|[C~  
2、偶数型达曼光栅设计 t'U=K>7  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 kyHli~Nr"  
                     *D|a`R!Y  
（a）结构图 oh{>nwH  
`G$>T#Dq  
h ;*x1BVE  
（b）衍射效率                                                                     %0GwO%h},  
P<vl+&*  
                                   /"X_{3dq?  
（a）结构图 NsB]f{7>8+  
QoYEWXT|g  
       Wj.t4XG!  
（b）衍射效率