[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 NXsDn&&O  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 B}_*0D  
}eh<F^  
1）标量衍射理论设计 P F#+G;q;  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 O@r%G0Jge  
x!GHUz*:uz  

图片:2.jpg

         o-\ K]  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "!()yjy  
                           "&*O7cs$pA  

图片:23.jpg

V(Ll]g/T_;  
（b）达曼光栅衍射效率 d2s
Y.L  
KM$Lu2
  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 yq+'O&+   
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 a;JB8  
$qG;^1$  

图片:untitled.jpg

                               8A/"ia  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 6Mu_
9UAl`  
RGFanP  

图片:untitled2.jpg

KDr?<"2L  
（b）达曼光栅衍射效率 |PR8P!'  
F#_J
cEE  
3）rsoft仿真 UFBggT\  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ^
=:e9i3u  
;sd[Q01  

图片:捕获77.JPG

                 L+,p#w  
（a）标量衍射结果结构图     [4L[.N@  
_/Ky;p.  

图片:捕88获.JPG

!J`>;&  
（b）衍射效率             As0E'n85  
&R+/Ie#0dz  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 dbM~41C6  
J'c]':U  

图片:1获.JPG

                       6'CZfs\  
（a）矢量衍射结果结构图   h[~JCYA  
xUl=N   

图片:捕获.JPG

                               y%%D="  
（b）衍射效率     <QbD ;(%  
2noKy}q  
2、偶数型达曼光栅设计 A|>~/OW=@  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 l~P%mVC3m  

图片:捕获55.JPG

                     rTTde^^_  
（a）结构图 02B *cz_K  
YaiogA  

图片:捕获66.JPG

kI7c22OJ  
（b）衍射效率                                                                     "B`k  
D5lzrpg_e  

图片:捕获55.JPG

                                   mQEE?/xX;  
（a）结构图 "Bl]_YPv  
3 RB+  

图片:捕获66.JPG

       v2=Iqo  
（b）衍射效率