1、奇数型达曼
光栅设计
cM rO@=b; 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Dkx}}E:< } 4T `) 1）标量衍射理论设计
N 4z[=b> 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
${rWDZ0Z O')=]6CQ* 
~"_!O+Pj （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
+\*b?x .^ 2.h 
RU=\eD （b）达曼光栅衍射效率
<5"&]!
. BNF*1JO 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
PJ4 / E 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
PhPe7^ _^eiN'B 
o:&8H>(hn] （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
vcCNxIzEG KLW>O_+ 
C4qK52'2s （b）达曼光栅衍射效率
Ir-QD !!< k& uh 3）rsoft仿真
Td|u-9OM 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
?0M$p pY[b [ezb 
|h%H Uau （a）标量衍射结果结构图
4JU 2x >k xRsiKV 
} K@m4`T （b）衍射效率
P(FlU]q " O-X*>?f rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
SSCs96 ul~6zBKO 
10h; N[ （a）矢量衍射结果结构图
IU5T5p k e! 
9-V'U\}L （b）衍射效率
M 87CP=yc m ?4hEwQxf 2、偶数型达曼光栅设计
UGd\`*Cj 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
Qu,R6G 
qjh k#\y （a）结构图
FNuE-_
~;]kqYIJ 
b9#(I~} （b）衍射效率
(_!I2"Q* VBix8| 
j{r@>g;3 （a）结构图
#;~HoOK*# ^"D^D`$@ 
} eW<P079 （b）衍射效率
