1、奇数型达曼
光栅设计
8cj}9 }k 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
`-5gsJ
pMkM@OH
1）标量衍射理论设计
_;:B@Z 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
S~GS:E# _ FN#Vq2 
f_IsY+ @ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
\$,8aRT>#U ;B;wU.Y" 
Q1x=@lXR （b）达曼光栅衍射效率
1z@{ 4) v=-T3
n 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
@y,>cDg 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
3 *oZol/ K pmq C$ 
"4.A@XsY （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
]MB6++.e A9LVS&52 
e)|5 P （b）达曼光栅衍射效率
c`7 dNx vP,$S^7$ 3）rsoft仿真
EHrr}& 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
l)Mi?B~N O66b^*=N}x 
l^ rQo_alk （a）标量衍射结果结构图
Y5<W"[B! l2kUa'O- 
`dIwBfg_ （b）衍射效率
@[]#[7 ^[b DE0 rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
"FLiSz%ME &PFK0tY 
seZb;0 （a）矢量衍射结果结构图
g hW )-\qo#0l 
y_2B@cj （b）衍射效率
</_.+c [ K8h\T 4 2、偶数型达曼光栅设计
{X-a6OQj 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
l _zTpyOZ 
0+KSD{ （a）结构图
5`q#~fJ2 Rp6q) 
2j$~lI （b）衍射效率
WpC9(AX5g 2g;Id.i> 
[ic%ZoZ_ （a）结构图
Xi!e=5&Pa X5+$:jq& 
vZXdc+2l （b）衍射效率
