1、奇数型达曼
光栅设计
g-A-kqo9 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
$ `c:& +z( L r=G 1）标量衍射理论设计
i. "v4D 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
\G[ $:nS ^ c<Ve'- 
)UR7i8]!0 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
%{|p j
+ |N2#ItBbW 
NJ <F >3 （b）达曼光栅衍射效率
Wc#24:OKe3 m@ c)Xci 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
\85i+q:LuA 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
+rd+0 `}C XwmL.Gg:]7 
,prf;|e? （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
KPF1cJ2N a9gLg
& 
}tz7b# （b）达曼光栅衍射效率
;+%rw 2Z,B b=vkiO`2 3）rsoft仿真
1#x0 q:6 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
AH^/V}9H g#bRT *,L 
:X=hQ:>P （a）标量衍射结果结构图
eFgA 8kY) qPNR`%}Q 
zPO9! ?7| （b）衍射效率
M]^5 s;y LV Ge]lD rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
3`g^ 7#XzrT] 
? 9/G[[( （a）矢量衍射结果结构图
dV_G1' la!~\wpa 
@ JMiO^ （b）衍射效率
Ui ~>SN>s / m1\ iM\ 2、偶数型达曼光栅设计
u 9e@a9c 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
L *wYx| 
>:-$+I （a）结构图
-@'FW*b p K*TE5] 
="+#W6bZT （b）衍射效率
?<!| P.cyO3l 
7CysfBF0g （a）结构图
F9PxSk_\9 YK_ 7ip.a[ 
%9"H （b）衍射效率
