对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
FzykC 8llXpe
* U}-Y* )~gIJW 建模任务 BHiG3fP
=oM#]M'G+(
OT(0~,.GJ R"l6|9tmP 1阶的参数优化 |Qcj+HH.
p+5J
vvs2:87zvJ $j8CF3d.6 结果-容差分析 5<e{)$C
YQyI{
bxzx@sF2l @eutp`xoT\ 结果-容差分析 Jd?qvE>Pp
+XSe;xk;rD
3t9CN
)* @.c[z D 在VirtualLab Fusion中查看 lMG+,?<uK& 1wH6 hN,
1k^$:' KUq7O a! VirtualLab Fusion的工作流程 _CTg")0o eo@8?>}{X •构造光栅结构
/n6ZN4 WnOvU<Z
<
NFP h}D •分析光栅衍射效率
E0l&d - 光栅级次分析器[用例]
';!-a]N •使用参数优化优化光栅参数
rA^=;?7Q •使用参数运行进行容差分析
`.dwG3R &5.J y2hO] iBtG@M
FFcIOn h_\(
$" VirtualLab Fusion技术 5UOqS#"0
)v*k\:Hw
sdiWQv