对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
#O8=M(- V 3kF+wifsz
e0Gs|c+6 }ALli0n`V) 建模任务 FDGG$z?>m
BTG_c_?]e
m9&%A0 jWh)bsqI! 1阶的参数优化 YH^@8
X*5N&AJ
|68/FJZ,5 0,.|-OZ 结果-容差分析 &2q<#b
Iu >4+6
+StsSZ U&a(WQV9& 结果-容差分析 rwgj]
e5 zi "~
IJDbm}:/e ;<GxonIV 在VirtualLab Fusion中查看 HNj;_S Q&?0 ^;r
@>J(1{m=Gy cN&:V2, VirtualLab Fusion的工作流程 ];b+f@ $MfRw •构造光栅结构
`R.Pz _oe 5dD8s-;^T g)|vS>^~ •分析光栅衍射效率
2cRru]VZ5 - 光栅级次分析器[用例]
$%
gz ,{ •使用参数优化优化光栅参数
ue'dI •使用参数运行进行容差分析
ozl!vf# kv ;#0$iE gNA!)}m\
9$C?)XKXB EYCZuJxv VirtualLab Fusion技术 Wv;,@xTZ
;fN^MW@&[
<8Nr;96IA