[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]RnX'yw^  
2%vwC]A  
>tP/"4
c  
[W{`L_"  
建模任务 =]W{u`  
r(vk2Qy  
,\
}V.:THF  
!;CY @=  
1阶的参数优化 $BH0W{S  
@292;qi  
5+%BZ  
+< BAJWU  
结果-容差分析 G=Ka{J  
E C7f  
!h9 An  
f.+e  
结果-容差分析 JpS:}yyJ>N  
gWgK  
9zO;sg;3  
z8z U3?  
在VirtualLab Fusion中查看 7Oxvq^[  
P!bm$h*3?  
(:T~*7/"  
     o]Vx6  
VirtualLab Fusion的工作流程 Y,E:?  
k )){1O  
•构造光栅结构 y ImriCT  
8-8= \  
-JwH^*Ad  
•分析光栅衍射效率 B)^]V<l(w  
- 光栅级次分析器[用例] 6dq U4  
•使用参数优化优化光栅参数 Uk*s`Y  
•使用参数运行进行容差分析 miN(a; Q2P  
;oR-\;]/.  
PrN?;Z.  
k,v.U8  
     X#eVw|  
VirtualLab Fusion技术 |Q:`:ODy`5  
1YnDho;~  
O4$: xjs