[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 W3~u J(  
`)cI^!  
/ =9Y(v  
#?)6^uTW  
建模任务 ;bwBd:Y  
y A5h^I  
t,YRM$P  
g;Ugr8  
1阶的参数优化 syu/"KY^!  
A.*e8a/6X  
k -G9'c~  
hTa X@=Ra  
结果-容差分析 L9)gN.#  

P[fy  
c&PsT4Wh  
:?~)P!/xl5  
结果-容差分析 XoD:gf  
u^xnOVE  
'=nmdqP  
{aA6b  
在VirtualLab Fusion中查看 6r"NU`1A;r  
Rir0^XqG  
T^!Q(`*  
     }@LIb<Y  
VirtualLab Fusion的工作流程 &&CrF~  
XHv m{z=  
•构造光栅结构 {ccc[G?>.Q  
8b0j rt  
c) Eu(j\#  
•分析光栅衍射效率  IZrcn  
- 光栅级次分析器[用例] wdj?T`4  
•使用参数优化优化光栅参数 uKzx >\}?1  
•使用参数运行进行容差分析 $cn8]*Z=  
QeF:s|[  
z~f;}`0  
^/Hf$tYI!`  
     n',7=~  
VirtualLab Fusion技术 [;hkT   
Z42q}Fhm*R  
i-w<5pGnf