[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /KTWBcs 7  
`uw
Sxt  
u+;iR/  
W-RqooEv  
建模任务 w#d7  
-<6b[YA  
%zKTrsMZ  
:Z[|B(U  
1阶的参数优化 t5aX9WIW  
{EjzJr>  
?vBMx _0  
,Mr_F^|  
结果-容差分析 []-<-TqJ  
"8$Muwm  
`t7z LC^c  
w-"tA`F4  
结果-容差分析 Dnl|B\  
7](aPm8  
mIe 5{.m#  
J[{ R:l\  
在VirtualLab Fusion中查看 D!DL6l`  
{^.q
6,l  
P67*-Ki  
     ;uho.)%N`F  
VirtualLab Fusion的工作流程 _<6E>"*m  
>~l^E!<i-u  
•构造光栅结构 Z5V_?bm$  
Bun^EJ)  
Bdcs}Ga  
•分析光栅衍射效率 \;+TZ1i_  
- 光栅级次分析器[用例] ?>
1wZ  
•使用参数优化优化光栅参数 Y1;jRIOA  
•使用参数运行进行容差分析 P\y ZcL  
v'Pbx  
Doe:m#aNj  
*&z!y/  
     \Ez&?yb/  
VirtualLab Fusion技术 {t*CSI  
FMtg7+Q|>  
*qJHoP;