[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Z
8@J`0x  
_M`--.{\O[  
y[)>yq y  
#mCL) [  
建模任务 RL@VSHXc  
vZaZc}AyL  
\F/hMXDlJ  
J\:R|KaP<p  
1阶的参数优化 Ez fN&8E  
}Mp:JPH&S4  
;Q OBBF3HG  
CUBEW~X}M  
结果-容差分析 1Z+8r  
g9}Dn
CT*.  
/'l{E  
lhAX;s&9  
结果-容差分析 j7$e28|_n  
jHE}qE~>5  
w[zjerH3  
v1+3}5b'uF  
在VirtualLab Fusion中查看 IEsEdw]aZE  
59Xi3KY  
:t8b39
  
     F;4vPbH+  
VirtualLab Fusion的工作流程 Zw5Ni Xj  
Sq/ qu-%X  
•构造光栅结构 ~J wb`g.  
0WZ_7C?  
fk6%XO  
•分析光栅衍射效率 f_jo+z{-ik  
- 光栅级次分析器[用例] "GMBjT8  
•使用参数优化优化光栅参数 *'.|9W  
•使用参数运行进行容差分析 m? J0i>H  
dMf:h"7  
;qafT@ }C  
oTU!R ,  
     ~?4PBq  
VirtualLab Fusion技术 ~dgDO:)  
/YP{,#p  
z;{iM/Xe