对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
eQ#i.% 2xO[ ?fR
qwj7CIc( +<F3}]] 建模任务 dG5jhkPX
$u~ui@kB
8Z9>h:c1 s<!G2~T 1阶的参数优化 >(igVaZ>
e8xq`:4Y
@XzfuuE] (W:@v&p 结果-容差分析 AkS16A
U.t][#<3
[y'blCb W&
0R/y7 结果-容差分析 1#_pj
eG
dB4ifeT]
C@`#@1X T{+a48,; 在VirtualLab Fusion中查看 8Z\q)T [iq^'E
eQ/w
Mr 67Pmnad VirtualLab Fusion的工作流程 p+]S)K GZw JnK<:]LcK •构造光栅结构
O5p$
A@ ~210O5^ @hg[v`~ •分析光栅衍射效率
L
QV@]z& - 光栅级次分析器[用例]
h092S |iY •使用参数优化优化光栅参数
]ASw%Lw) •使用参数运行进行容差分析
Ka(B&. ZXYyG`3+ CS~onf<xz
^lV}![do! Kj
@<$ChZw VirtualLab Fusion技术 +yfUB8Xw
}a5TY("d9H
v;
#y^O