[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &C`t(e  
:1PT`:Y  
4 B"tz!  
_qR1M):yJ  
建模任务 ))K3pKyb  
H3H3UIIT_  
N~=p+Ow[H  
g0:mm,t\  
1阶的参数优化 ^dJ/>?1  
C1:efa<wV  
v2 T+I]I  
9r+]V=  
结果-容差分析 "W?<BpV~@!  
GKTrf\"c  
/EZF5_`bT  
G&I\Za;  
结果-容差分析 K@)Hm\*  
_?x*F?5=
 
m}54yo  
.J6Oiv.E  
在VirtualLab Fusion中查看 LBh|4S$
K  
_VLc1svv  
Y6~/H  
     w+)MrB-}  
VirtualLab Fusion的工作流程 ,B_Nz}\8  
j7IX"O%f\  
•构造光栅结构 z@R:~  
%5?qS`/c(  
] lE6:^V  
•分析光栅衍射效率 /o Q^j'v  
- 光栅级次分析器[用例] 8=Xy19<;t  
•使用参数优化优化光栅参数 80TSE*  
•使用参数运行进行容差分析 ?W:YS82  
/>=)=CGv;  
%JF.m$-  
3J%(2}{y  
     :s`~m;Y9?  
VirtualLab Fusion技术 !ba /]A
/  
%C^U?m`  
K;^$n>Y