[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 H`CID*Ji  
90<
g=B  
&
W@2n&U.q  
q*&R&K;q
 
建模任务 WPL@
v+  
UucI>E3?P{  
\;X7DK2  
p@Y=6Bw  
1阶的参数优化 bqcCA91  
kXSX<b<%  
1#A$&'&\J;  
8F}drK9>F  
结果-容差分析 T$%|=
gq  
t WI-  
m\`>N_4*9  
YExgUE|  
结果-容差分析 FDz`U:8  
j,k3]
bP  
.G O0xn
m  
dz_S6o ]  
在VirtualLab Fusion中查看 L.HeBeO  
wh8';LZ>R  
b7QE  
     Ya
C%69C'  
VirtualLab Fusion的工作流程 UHZuH?|@  
h[mT4e3c  
•构造光栅结构 |THpkfW  
%2}fW\%'  
&xnQLz:#  
•分析光栅衍射效率 VzP az\e  
- 光栅级次分析器[用例] 6zi>Q?] 1  
•使用参数优化优化光栅参数 "?8)}
"/f  
•使用参数运行进行容差分析 ))"gWO  
= s&Rk~2b/  
IO\4dU)  
<u64)8'  
     JusU5 e|  
VirtualLab Fusion技术 YZol4q|ic  
/{^k8 Q  
SI}s