对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
z&#SPH* Neq+16*u
[842&5Pd? &=Ar 建模任务 OE_XCZ!5P
@=bLDTx;c)
]/[FR 5> A-Sv;/yD_ 1阶的参数优化 xu/cq9
N..yQ-6x?
r?+%?$ 8ndYV>{f 结果-容差分析 BgurzS4-
4IB9,?p
Xb:;</ GY6`JWk 结果-容差分析 Uol|9F
q@QksAq
W98i[Q9A7 <r.)hT"0 在VirtualLab Fusion中查看 \rx3aJl / ;$#d}R
g`{;(/M+ <C1H36p VirtualLab Fusion的工作流程 aE`c%T):` Tzt8h\Q^z •构造光栅结构
`slL%j^" `YFtL 3EV;LH L •分析光栅衍射效率
zvYq@Mhr - 光栅级次分析器[用例]
0LPig[ •使用参数优化优化光栅参数
A;;fACF8e •使用参数运行进行容差分析
0[RL>;D: 4,bv)Im+ ` 54gBJEhg
[>+4^& mC4zactv VirtualLab Fusion技术 !POl;%\
*? 5*m+
:8L8q<U