9 ^8_^F 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
F|G v 2*< PmKI 
vQG v4 XgyLlp;,O 建模任务 XSCcumde!
Z^BZH/I?
P 'o]#Az .mNw^>:cq 入射平面波
liqVfB% 波长 2.08 nm
)W6l/ 光斑直径： 3mm
0e07pF/! 沿x方向线偏振
`t\\O ~xv3R 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
g{
;OgS3> 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
/6F \]JwU 'BUf db8d 概览 Nob u=
Z •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
4\ |/S@. •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
q{%~(A5*H ;W|GUmADf 
`EfF yhG$ 光线追迹模拟 {>PEl; ,- •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
N ]14~r= •点击Go！
`e`DSl D> •获得3D光线追迹结果。
R )4,f~@" +* F e 
Nc HU) A^$xE6t 光线追迹模拟 4e? bkC •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
=.OzpV)=V •单击Go！
M]M>z>1*v •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
P_b!^sq9 %iME[| u& 
Sb?Ua*(L: h6IO ;:P) 光场追迹模拟 (>Nwd^ •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
HO_(it \ •单击Go！
{2QP6X sJ V2xvuDHI 
@4Zkkjc4b _ mk@1ft 光场追迹结果（照相机探测器） f`*VNB` hrO9_B|# •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
! Eb|AHa •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
2ga8 G4dU 2s> BNWTU 
,j9? 9Z7R uL@%M8n 光场追迹结果（电磁场探测器） s"J)J c y<wd~!>Ubu •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
m`n~-_ QN?EI:
q= 
OSLZ7B^ 1G67#L)USq 
% C@p4 00s) =A_ 
A|]#b? - _~D#?cFY6 
