)ZyuF(C& 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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8A u<\~p T KL(97)< 建模任务 ]J=)pD rk
gs8@b5 RSb
GiO#1gA Rn_W|" 入射平面波
D)7$M]d% 波长 2.08 nm
]l7\Zq 光斑直径： 3mm
wK`ieHmp 沿x方向线偏振
0 2#Iip3t rIfGmh%H 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
m&~Dj#%(w 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
[P c[{( fy>An d* 概览 jP.b oj_u* •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
a:^ Gr% •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
EQOP?>mWx! -Dq:Y,%q 
nC.2./OwMf 光线追迹模拟 ;(0$~O$3u •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
F@'rP++4 •点击Go！
#iU8hUbo •获得3D光线追迹结果。
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P,Zqd "~2#!b K7 
P ^<0d'( "zIq)PY 光线追迹模拟 -YjgS/g •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
4zfRD`; •单击Go！
A r7 mH4M •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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K*8# 光场追迹模拟 ssyd8LC# •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
SM#S/|.] •单击Go！
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Li -(p" G!VF*yW8 光场追迹结果（照相机探测器） 2
ssj(Qo %::d eV7 •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
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O46~ •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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e_~ fJ ^ ?7dOW 光场追迹结果（电磁场探测器） M |({
4C <k\H`P •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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