_ReQQti[ 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
IOA{l N6 V> <P` 
{?C7BClB -X=f+4 j 建模任务 (~P&$$qfD
/'I/sWE V
L $b9|j7 t`LH\]6@ 入射平面波
HZ|6&9we 波长 2.08 nm
! yxb< 光斑直径： 3mm
G67BQG\av 沿x方向线偏振
-B_dE-l, PH]q#/' 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
&8;mcM//4 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
qg>i8 V M6e"4Gh 概览 t Sg#2 •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
PC9:n ee •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
w qsPGkJJ7 B8 2A:t) 
Rn}+l[] jC 光线追迹模拟 7DI8r| ~ •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
%|;^[^7+}t •点击Go！
#&@&Bl Ie •获得3D光线追迹结果。
qYpHH!!C= "u%$`* 
S"Efp/- mV;7SBoT 光线追迹模拟 b*bR<|dT j •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
7mu%| ! •单击Go！
;w1h) •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
eZUK<&0x5 P$!Ht 
&o?pZ(\C _-D(N/ 光场追迹模拟 b~\
0 xPML}|V .$q]<MK8 光场追迹结果（照相机探测器） ztTpMj E&97;VH •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
0^.q5#A2 •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
SkK=VeD>8 bT8BJY%+ 
Vbwbc5m} HHX9QebiST 光场追迹结果（电磁场探测器） 5B(|!Xq;I "e_ED* •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
ftK.jj1: !D 
fBQZ=zh i4- >XvC 
|C5i3? w("jyvV[C 
{t9U]hX%A[ %`` FIv15w 
