[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

+hs:W'`%  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 VY@`)  
*]DO3Zw'  
52r\Q}v$  
     hzh3p[  
设计任务 Q{~;4+ZD  
&0+Ba[Z ^  
J~N!. i  
=n;LP#(h?  
1级参数优化 H8E#r*"-m  
S5cs(}Bq  
H<qz rO  
i3>_E <"9  
结果-容差分析 vI(CX]o  
nr&9\lG]G  
:2~2j-m  
9q2x}  
结果-容差分析 /KlSI<T@  
HYNpvK  
1([?EfC  
_znpzr9H  
VirtualLab Fusion一瞥 unr`.}A2>  
QO4eDSW  
8w~X4A,  
]hbrzvo  
VirtualLab Fusion中的工作流程 t;y@;?~
 
A|m0.'/  
构建光栅结构 ;NGSJfn  
{$C"yksr  
[6nN]U~Y  
•光栅衍射效率分析 g? C<@  
~le:4qaX  
•使用参数优化进行光栅参数优化 c3O&sa V!  
•使用参数运行的容差分析 U \F ?{/  
gi8f)MNP?~  
(?P\;yDG  
=ibKdPtTh^  
VirtualLab Fusion技术 mC'<Ov<eJ  
+rKV*XX@