tDNo; f 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
/UiB1-*b [P%'p-Hg_
0<]]q[pr ^-7-jZ@jz 设计任务 l7uEUMV
2m2$jp0
c.h_&~0qf $TavvO%# 1级参数优化 B{lL}"++0
wKAxUPzm
QHe: mH!\]fmR~ 结果-容差分析 ~JohcU}d
a>Xq
YtY.,H; /P/::$ 结果-容差分析 p&3~n:
Fo
c/`Rv{*'o
txy'7t SNtOHTQ VirtualLab Fusion一瞥 hPrE
H]>7IhJ
n]bxG8~t ^%Fn|U\u VirtualLab Fusion中的工作流程 ]d,#PF t2&} 构建光栅结构
6>-Gi vz'<i. Yv4 _<l 9j;6 •光栅衍射效率分析
$ 7uxReFZR vmT6^G •使用参数优化进行光栅参数优化
Aq{7WA •使用参数运行的容差分析
4mF=A$Q_/
`;#I_R_K
W^dRA xVX _tVrLb7`s VirtualLab Fusion技术 0/?=FM>
$
iU~p