[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

R*0]*\C z  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 XM1; >#kz  
rj}O2~W~
4  
hZ_@U?^  
      )OHGg  
设计任务 :'`y}'  
}TQa<;Q  
HTz5LAe~b7  
H^ 'As;R  
1级参数优化 `6y
=ky.,  
hKnAWKb0  
y>^FKN/  
)E|{.K  
结果-容差分析 ; DXsPpZC  
T<oDLJA\  
mF:Pplf<  
%u}#|+8}  
结果-容差分析 HmiG%1+{A  
v}LI-~M>U  
qCkC2Fy(  
"%}24t%  
VirtualLab Fusion一瞥 @r&*Qsf|  
N TcojA{V$  
5Q;Q  
mW2D"-s  
VirtualLab Fusion中的工作流程 qv
^P  
A+|bJ>q  
构建光栅结构 WeJ=]7T'L  
kXV
;J$1  
vHZq z<  
•光栅衍射效率分析 yh2)Pc[  
tD*k   
•使用参数优化进行光栅参数优化 i?ZVVE=r  
•使用参数运行的容差分析 D
]o=I1O?  
et2;{Tb,5  
"cyRzQ6EH  
ClY`2  
VirtualLab Fusion技术 AR!v%Z49i  
3?K+wg s