[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

>c-fI$]  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 vy,&N^P  
rWh6RYd<T  
R/`q/0T.  
     L,;D@Xi  
建模任务 7OWbAu;  
qaim6a  
2
YuN~-  
概述 ]59i>  
+y 87~]]  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X,8<oX1r  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Z0De!?ALV\  
sE{pzPq!  
>%E([:$A  
mZIoaF>t  
光线追迹仿真 PR|R`.QSs  
()sTb>L  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P,=+W(s9}  
•单击go！ jPnM>=  
•获得了3D光线追迹结果。 'B0{U4?   
-CH`>  
a(]`F(L  
n}xhW'3hU=  
光线追迹仿真 Yl;^ k0ZI  
^TB>.c@`*  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 PM":Vd/  
•单击go！ {A|TowBN  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 P6,7]6bp  
v+"rZ  
,&U4a1%i#c  
!se0F.K  
场追迹仿真 i*R,QN)  
1+`l
7'F  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0N=X
74  
•单击go！ .lhn;*Yi  
_if|TFw;h  
|+ge8uu?C  
     juBw5U<  
场追迹仿真（相机探测器） :Sg_tOf  
$>U# W:  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]\RRqLDzkg  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9
{j66  
A$g+K,.l  
2}?wYI*:5|  
YGc^h(d  
场追迹仿真（电磁场探测器）
]aCk_*U  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p#f+P?  
e$c?}3E!z  
TST4Vy3  
     ~8`:7m?  
场追迹仿真（电磁场探测器） 9]$8MY
 
hgRVwX  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JFL>nH0mk.  
}G$]LWgQx