[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

%%uE^nX>  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !@8i(!xb  
';/J-l/SE  
<]LljTm`i  
     9N}\>L)_  
建模任务 g]2L[4  
f6`GU$H  
%'HDP3  
概述 ^sLx3a  
0zq'Nf?#3  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;'uQBx}  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lYQ|NL():  
NBc^(F"  
o5F:U4sG  
\?^2}K/  
光线追迹仿真 LtMM89u  
)&7.E  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !!^z6jpvn  
•单击go！ =ZIT!B?4  
•获得了3D光线追迹结果。 AT~,  
&o;0%QgF  
!ou#g5Q@z  
_2hLc\#  
光线追迹仿真 @>(KEjQTz  
bhpku=ov  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $?0ch15/  
•单击go！ 'YNdrvz  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +ZOiL[rS  
=W.}&  

V>'  
lZcNio  
场追迹仿真 ZLv/otf:|"  
= (F   
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0d9z8y  
•单击go！ RQx8Du<  
"+"=iwEAz  
@ivd|*?k0  
     \%=\4%:  
场追迹仿真（相机探测器） `NsjtT'_  
D%YgS$p[M$  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &&X,1/  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !SQcV'  
s3Vb2C*  
%x$U(I}  
S }`sp[6  
场追迹仿真（电磁场探测器） H0Pxw P>q  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MePD:;mm^  
;"wCBuXcu  
((k"*f2%  
     5G*cAlU  
场追迹仿真（电磁场探测器） 85GIEUvH/  
)?*YrWO{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $E\|\g  
jV3PTU