>c-fI$] 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
vy,&N^P rWh6RYd<T
R/`q/0T. L,;D@Xi 建模任务 7OWbAu; qaim6a
2YuN~- 概述 ]59i> +y 87~]] •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
X,8<oX1r •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
Z0De!?ALV\ sE{ pzPq!
>%E([:$A mZIoaF>t 光线追迹仿真 PR|R`.QSs ( )sTb>L •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
P,=+W(s9} •单击go!
jPnM>= •获得了3D光线追迹结果。
'B0{U4?
-CH`>
a(]`F(L n}xhW'3hU= 光线追迹仿真 Yl;^ k0ZI ^TB>.c@ `* •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
PM":Vd/ •单击go!
{A|TowBN •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
P6,7]6bp v+"rZ
,&U4a1%i#c !se0F.K 场追迹仿真 i*R,QN) 1+`l7'F •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
0N=X74 •单击go!
.lhn;*Yi
_if|TFw;h
|+ge8uu?C juBw5U< 场追迹仿真(相机探测器) :Sg_tOf $>U#
W: •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
]\RRqLDzkg •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
9{j66 A$g+K,.l
2}?wYI*:5| YGc^h(d 场追迹仿真(电磁场探测器) ]aCk_*U •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
p#f+P? e$c?}3E!z
TST4Vy3 ~8`:7m? 场追迹仿真(电磁场探测器) 9]$8MY hgRVwX •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
JFL>nH0mk. }G$]LWgQx