;)XB' 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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61pJVOe /v-:ca)7mI 建模任务 5H79-QLd =im7RgIBo
6F:<c 概述 i$gH{wn\` AI,Jy%62/ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
c]PG5f xf •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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$mu*iW\{ ~]V}wZt>h 光线追迹仿真 chakp!S= ?Rd{`5.D •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
r7Zx<c •单击go!
kCHYLv3. •获得了3D光线追迹结果。
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<5E: ,< cH48) 光线追迹仿真 7'zXf)! L0X/ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
9/#?]LJ •单击go!
gZ@z}CIw' •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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rsn^YC m <'&`B; 场追迹仿真 Bdr'd? u<A H&SoVi_V •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
EECuJ+T •单击go!
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F[)5A5+:Y >/.w80<' 场追迹仿真(相机探测器) 2bu > j1h
8/s?Gz •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
O)$Pvll •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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enT[#f[{ |*(R$t X 场追迹仿真(电磁场探测器) @! {Y9k2 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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I=2b)"t0 F1u2SltR 场追迹仿真(电磁场探测器) fM`.v+ -dS@l'$ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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