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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    \*qradgx$  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 D^P0X:T]  
    yV(9@lj3;  
    !Fxn1Z,  
         PYs0w6o  
    建模任务 1OMaY5F  
    }R5EuR m\  
    Nq\)o{<1  
    概述 <SOG?Lh~  
    I|K!hQ"m  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v<)&JlR  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !g}@xwWax  
    o"L8n(\  
    FwHqID_!:l  
    ;mz#$"(  
    光线追迹仿真 x?u@ j7[  
    ;;XY&J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9=/4}!.  
    •单击go! ?p 4iXHE  
    •获得了3D光线追迹结果。 s'l|Ii  
    7bRfkKD  
    kTT%< e  
    u*uHdV5  
    光线追迹仿真 n5BD0q  
    )+8r$ i  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V EsM  
    •单击go! G|-RscPe  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 c9Cc%EK  
    *)I^+zN  
    ].aFdy  
    ht>/7.p]  
    场追迹仿真  iycceZ  
    ,O-_Pv  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >hq{:m  
    •单击go! q@XJ,e1A  
    *icaKy3  
    _5(p=Zc  
         _y>drvg  
    场追迹仿真(相机探测器) F$1{w"&  
    !TY0;is  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S%Ky+0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 1=sL[I7<  
    AFvv+ ss  
    ! 9*l!(  
    be]/ROP>H  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 3B,dL|q(@J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GE=S.P;  
    vkR ~nIp  
    On!+7is'  
         !v9`oL26  
    场追迹仿真(电磁场探测器) m?Cb^WgcF  
    p}/D{|xO  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @W @,8e]c  
    -a~n_Z>_  
     
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