[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

ewOR
b  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .rs\%M|X  
C}8 3t~Q  
*zTEK:+_  
     z`KP }-  
建模任务 $3je+=ER  
uhO-0H  
B7ty*)i?  
概述 p~NFiZ,  
rugR>&mea  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N@G~+
GCxL  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 rw]7Lr_>  
'7(oCab"_  
Ch,%xs.)G  
#xBh62yIuP  
光线追迹仿真 Zz@wbhMV  
cOo@UU P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .}x:yKyi@  
•单击go！ n06Jg+  
•获得了3D光线追迹结果。 6qH^&O][  
*>8Y/3Y\B  
CGY,I UG  
D;QV`Z%I  
光线追迹仿真  O)?  
".:]?Lvt  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Egr'IbB  
•单击go！ :elTqw>pn  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yOr5kWqX  
&L`yX/N2  
'e5,%"5(c  
MR-cOPn  
场追迹仿真 zPt0IB_j'  

C3GI?|b  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )3A%Un#B  
•单击go！ /o]j  
; 6*Ag#Z  
T$r?LIa ,Q  
     f%cbBx^;  
场追迹仿真（相机探测器） 5B,HJax  

X'XH-E  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "R9^X3;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &RbT&  
ruTj#tWSo  
rJqRzF{|P6  
d0CFMy6  
场追迹仿真（电磁场探测器） ]/y69ou  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %5|DdpES  
EaXDY<  
6>
Ca
O  
     %x zgTZ  
场追迹仿真（电磁场探测器） ;|H(_J=6k  
k>mqKzT0$+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y~+`F5xX<  
Sw^-@w=!U5