[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

 1KJZWZy  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B82,.?  
}GRMZh_8  
 <qn,  
     rdI]\UH  
建模任务 )q(:eoLDm  
rsSue_Q  
<
P pYl  
概述 .;%q/hP  
@DCJ}hud  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F^sw0 .b  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 P7>IZ >bw  
s-5wbi.C  
9UmBm#"  
X<K9L7/*  
光线追迹仿真
#J~Xv:LgD  
pDhY%w#  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xK!DtR
zsA  
•单击go！ r9;`  
•获得了3D光线追迹结果。 T/7vM6u  
#`58F
.  
Gy^FrF  
qp1\I$Y  
光线追迹仿真 a8NVLD>7}  
O"QHb|j  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r:#Q9EA  
•单击go！ . z].:$J&  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7AeP Gr  
[edH%S}\  
NY 4C@@"  
c'~[!,[b<  
场追迹仿真 |=,83,a  
n\*JaY  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 () <`t}FQ  
•单击go！ pDmK  
n`QO(pZ6+  
rkq)&l=ny  
     :r^klJ(m  
场追迹仿真（相机探测器） a G@nErdW  
*k!(ti[  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 l-MxLcz  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F1\`l{B,\  
5Fr;  
m
1i4,  
fIH#  
场追迹仿真（电磁场探测器） &h\CS8nT%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1ThwvF%Qo  
QjqBO+  
p}&Md-$1  
     6#O#T;f)  
场追迹仿真（电磁场探测器） S$\.4*_H\  
^pN 5NwC5  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2aFT<T0  
A1=_nt)5