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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
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    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 6^WiZ^~  
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    建模任务 bN]\K/  
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    概述 q/A/3/  
    ?0? x+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <yis  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HI}pX{.\  
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    光线追迹仿真 h<+PP]l=  
    5`(((_Um+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @?'t@P:4  
    •单击go! vd2uD2%con  
    •获得了3D光线追迹结果。 LZgwIMd  
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    MA~|y_V  
    光线追迹仿真 3WQRN_  
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    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 er&uC4Y]a  
    •单击go! Y{+zg9L*  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 =>gyc;{2K<  
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    场追迹仿真 v!WU |=u  
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    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _lP4ez Y  
    •单击go! "`gfy  
    h;cB_6vt  
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         ?$>u!V<'  
    场追迹仿真(相机探测器) DLwC5Iir  
    QO1A976o  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Dme(Knly  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 /\IAr,w[  
    I!C(K^  
    )R [@G.  
    jKY Aid{-  
    场追迹仿真(电磁场探测器) g=8|z#S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]be 0I)  
    DTX/3EN  
    rCnV5Yb0O  
         B|Rpm^ |  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ~frPV8^DP  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a'*5PaXU@/  
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