[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uf:'"7V7  
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建模任务 nHp$5|r<  
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概述 S1C#5=  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z,M2vRj"qT  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |)*!&\Ch  
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光线追迹仿真 [ <k&]Kv  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -mLu!32I<  
•单击go！ kqq1;K
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•获得了3D光线追迹结果。 1|:;~9n<t  
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光线追迹仿真
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +"~*L,ken0  
•单击go！ F5M|QX@
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #cb9g   
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场追迹仿真 lEb H4 g  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ng6E&<Z  
•单击go！ EZhk(LE  
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场追迹仿真（相机探测器） w6^TwjjZ$  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]g
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,jD-fL/:  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 'RNj5r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~L>&
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场追迹仿真（电磁场探测器） <xH! Yskc  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rm|,+{  
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