[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f47M#UC  
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建模任务 im @h -A]0  
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概述 \_B[{e7z  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R+CM`4CD  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4rrSb*
  
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光线追迹仿真 F+u|HiYG  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *BR^U$,e  
•单击go！ ,TFIG^Dvq  
•获得了3D光线追迹结果。 h*v8#\b$J_  
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)P+7PhE{J  
光线追迹仿真 rEF0oJ.
  
$*?,#ta  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %Z1N;g0  
•单击go！
)Eo)t>  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w`5xrqt@  
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场追迹仿真 /Sh#_\x  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '  <=+;q  
•单击go！ ?F3h)(}  
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场追迹仿真（相机探测器） =y!$/(H  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?[lV-  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 V=*wKuB  
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场追迹仿真（电磁场探测器） {Ja!~N;3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t)}scf&^x  
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d#qG6  
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     ^=-y%kp"  
场追迹仿真（电磁场探测器） sc,vj'r  
Qr{E[6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p|p l  
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