[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 PbN3;c3  
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建模任务 Wr#~GFg  
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概述 I>hmbBlDv  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zq=&4afOE  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 UN(3i(d  
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光线追迹仿真 GhiHA9.  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 SwJHgZ&  
•单击go！ 6>u
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•获得了3D光线追迹结果。 $eMK{:$O  
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光线追迹仿真 Gym#b{#":  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tNB%eb{  
•单击go！ h[y*CzG  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "$P'Wv
  
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场追迹仿真 J@gm@ jLc  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 SdSg
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•单击go！ 8W@dtZ,d  
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场追迹仿真（相机探测器） Wt"ww~h`(  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }1,'rmT
 
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6N?#b66  
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场追迹仿真（电磁场探测器） [bsXF#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 re/xs~  
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场追迹仿真（电磁场探测器） @]E]W#xAn  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dK`(BA{`3  
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