[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

HAGWA2wQ  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c{||l+B  
z)QyQ  
<C${1FO7If  
     {oBVb{<  
建模任务 'Nfg%)-N  
F^A1'J  
(:-DuUt  
概述 eUF PzioW  
R`TM@aaS:  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *$^ME  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6"&&s  
{) Y &Vr5  
Br-y`s~cP  
Jv7
@[<$  
光线追迹仿真 u"C`S<c  
= 2My-%i  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R8":1 #&  
•单击go！ Z!LzyCVl  
•获得了3D光线追迹结果。 tkNuM0  
!B-&I E?  
Ix1ec^?f  
z^Oiwzo  
光线追迹仿真 Hb!Q}V+Kb8  
$5il]D`  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~POe0!}  
•单击go！ :,GsbNKW  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?;^_%XSQ*  
gK#aC[  
$t}L|"=8X  
NbkWy  
场追迹仿真 DrMcE31  
T3M 4r|  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @jwUH8g1  
•单击go！ 2Ybz`O!  
8)R)h/E>  
d*q_DV  
     5%tIAbGW  
场追迹仿真（相机探测器） 9dKrE_zK:  
zZ;tSK
L  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {wA@5+[  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [Hn+r&  
%o^'(L@z  
/\#
qz.c2K  
E37`g}ZS  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z(Q?epyT  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hQ<"  
ly,d =  
oX?2fu
-  
     mE^6Zu  
场追迹仿真（电磁场探测器） "%>/rh2Iq  
$lV0TCgba8  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =(Gv_  
RJBNY;0