[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |L2SFB?d=  
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建模任务 o1M$.*  
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概述 >leU:7  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .X# `k  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hn#1%p6t  
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光线追迹仿真 zR2B- &]H  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T5a*z}L5  
•单击go！ 4R18A=X  
•获得了3D光线追迹结果。 (=7Cs  
Fu!RhsW5j  
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光线追迹仿真 sI{ M  
qkiI/nH3  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (sh)TBb5  
•单击go！ 0PlO(",a  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v`M3eh@$A  
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场追迹仿真 o!)3?  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +E{|63~q  
•单击go！ yu;P +G  
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场追迹仿真（相机探测器） y&V@^"`  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]*AR,0N&  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 HS
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场追迹仿真（电磁场探测器） Ymg|4
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0N$v"uX@  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ~^1{B
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~vyf4TF<#  
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