[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

at)~]dG  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rb|U;)C  
eM+!Y>8Y  
}K&7%N4LZ  
     3g >B"t  
建模任务 &}A[x1x06)  
[D!jv"  
o93`|yWl  
概述 1R,:  
DCZ\6WY1G)  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 rwI  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~8]NK&J  
RO.k]x6  
ll C#1  
>"C,@cN}B  
光线追迹仿真 Ry'= ke  
#W|'1 OX4  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +t?3T-@Ks  
•单击go！ ypy68_xyW  
•获得了3D光线追迹结果。 nX=$EQiH  
|]c8jG\h  
v&=gF/$  
T3^GCX|!@  
光线追迹仿真 G%s2P.cd  
"T|PS6R~  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |6$p;Aar  
•单击go！ QnJZr:4b  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AT%u%cE-  
svq<)hAf<  
/bi}'H+#  
}yz (xH  
场追迹仿真 +1D+]*t_?[  
L>3x9  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Ze5)g%H  
•单击go！ ;S>])
5<  
>Vwc3d  
jJ5W>Q1mK$  
     %;rHrDP(>  
场追迹仿真（相机探测器） F 9@h|#an  
u4/kR  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h"/<?3{  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D`$hPYK|_  
W`u[h0\c  
P9vA7[  
]VD|xm:kj  
场追迹仿真（电磁场探测器） ayfFVTy1d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yp({>{u7  
Y$?9Zkp>  
<x<"n t  
     @]ytla>d  
场追迹仿真（电磁场探测器） lw<c2C  
1fZ(l"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tV{4"Ij9[  
\Z+z?K O