]JkEf?;. 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
Dy.i^`7\ y7hDMQ c'
y.A3hV%6b (=^KP7 建模任务 =sk[I0W FGi7KV=N
3q73L<f 概述 -Fd&rq:GB( :V.@:x>id •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
|^l_F1+w •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
<-k! Bh&pZcm|
I4"p]>Y" Ysu\CZGX 光线追迹仿真 KFbB}oId [XY%<P3D •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
At\(/Zy •单击go!
N#l2wT •获得了3D光线追迹结果。
K ~mUO jae9!Wi
UiG/Rn 74M 9z 光线追迹仿真 jM\{*!7b Sy VGm@ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
E<\$3G-do •单击go!
YHEn{z7 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
! $$>D" \I!mzo
bvtpqI QZ r+ bGZ 场追迹仿真 {[2o 5z_d$.CIc •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
8)0]cX •单击go!
?z1v_Jh cR3d&/_,U
N;
}$!sNIm !uGfS' Vl 场追迹仿真(相机探测器) W q<t+E[ fF)Q;~_VA •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
6&x\!+]F8 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
tkctwjD 2Xl+}M.:Y
V#oz~GMB c;kU|_ 场追迹仿真(电磁场探测器) ZK]qQrIwy •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
`r}_92Tt X d+H()nR
jUm-!SK}q 8b?nr;@ 场追迹仿真(电磁场探测器) -{0Pq.v #tR:W?! •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
Rv&"h_"t ipn-HUrE@