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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    ]JkEf?;.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Dy.i^`7\  
    y7hDMQ c'  
    y.A3hV%6b  
         (=^KP7  
    建模任务 =sk[I0W  
    FGi7KV=N  
    3q73L<f  
    概述 -Fd&rq:GB(  
    :V.@:x>id  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |^l_F1+w  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <-k!  
    Bh&pZcm|  
    I4"p]>Y"  
    Ysu\CZGX  
    光线追迹仿真 KFbB}oId  
    [XY%<P3D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 At\(/Z y  
    •单击go! N#l2wT  
    •获得了3D光线追迹结果。 K ~mUO  
    jae9!W i  
    UiG/Rn  
    74M9z  
    光线追迹仿真 jM\{*!7b  
    SyVGm@  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E<\$3G-do  
    •单击go! YHEn{z7  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ! $$>D"  
    \I!mzo  
    bvtpqI QZ  
    r+bGZ  
    场追迹仿真 {[2o  
    5z_d$.CIc  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8)0]cX  
    •单击go! ?z1v_Jh  
    cR3d& /_,U  
    N; }$!sNIm  
         !uGfS' Vl  
    场追迹仿真(相机探测器) W q<t+E[  
    fF)Q;~_VA  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6&x\!+]F8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 tkctwjD  
    2Xl+}M.:Y  
    V#oz~GMB  
    c;kU|_  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ZK]qQrIwy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `r}_92Tt  
    Xd+H()nR  
    jUm-!SK}q  
         8b?nr;@  
    场追迹仿真(电磁场探测器) -{0Pq.v  
    #tR:W?!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Rv&"h_"t  
    i pn-HUrE@  
     
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