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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    LW(6$hpPp  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Od|$Y+@6  
    fDP$ sW  
    edPUG N  
         AoyX\iqQ  
    建模任务 vY_-Ranj#.  
    >]c*'~G&  
    +U@<\kIF  
    概述 LcE+GC  
    e>AE8T  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 & GreN  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Pfs;0}h5  
    wiBVuj#  
    \7*`}&  
    T' ~!9Q  
    光线追迹仿真 n..g~ $k  
    1</kTm/Qa  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .(WQYOMl0  
    •单击go! %!1Q P[}K  
    •获得了3D光线追迹结果。 m1*O0Tg]"  
    B2O}1.  
    !3ctB3eJ  
    x]33LQ1]  
    光线追迹仿真 w[ ~#av9  
    ^53r/V}%  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x@Hc@R<!  
    •单击go! 3@]SKfoo1  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 LWt&3  
    &ZQJ>#~j^  
    } GiHjzsR  
    u#@Q:tnN_  
    场追迹仿真 Tq~=TSD  
    -uy`!A  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ct%x&m:  
    •单击go! O &-wxJ]S  
    Nj 00W1  
    fX|Y;S-@+  
         |u;v27  
    场追迹仿真(相机探测器) H_QsNf  
    %x} O1yV  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~b2wBs)r  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 piZJJYv t  
    J:\|Nc?  
    +) m_o"hl  
    3F<VH  
    场追迹仿真(电磁场探测器) jXMyPNTK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "%x<ttLl  
    icgSe:Ci  
    0/oyf]HR  
         :dqn h  
    场追迹仿真(电磁场探测器) _:"<[ >9  
    c7FRI0X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aT$9;  
    fP `b>]N_  
     
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