[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #%J5\+ua  
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建模任务 ?#yV3h|Ij  
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概述 G=;k=oX(  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0$7.g!h?  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "[}O"LTQ  
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光线追迹仿真 As+t#
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "c}@V*cO<d  
•单击go！ '`1CBU$  
•获得了3D光线追迹结果。 Xf)|Pu  
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光线追迹仿真 bc , p}  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hzk6rYg1  
•单击go！ E( us'9c   
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @ 49nJi  
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场追迹仿真 =2w4C_  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 V.wqZ {G  
•单击go！ 5BBD.!  
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场追迹仿真（相机探测器） 9'hv%A:\3  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YJ(*wByM  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A)ipFB 6K  
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场追迹仿真（电磁场探测器） VY)s+Bx  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tE7[Smzuf  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 'U'yC2BI n  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <V>dM4Mkr  
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