Qv'x+GVW] 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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K1R?Qt,qDF Fv)E:PnKC 建模任务 -F*vN' An`*![
=-r); d 概述 ?*
, _Yp~Oj •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
]xoG{%vgb •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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%{3q=9ii ~Ma r 光线追迹仿真 /J!:_Nq #639N9a~ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
7hu7rWY`E •单击go!
FIVC~LDd •获得了3D光线追迹结果。
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Wi!"Vcn .oLV\'HAR 光线追迹仿真 0b
n%L~KU P7Qel , •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
T2.[iD!A •单击go!
aHYISjZ]> •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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y5O &9Ckw Ar,n=obG 场追迹仿真 nfGI4ZE 7OG:G z+)x •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
Su?cC/ •单击go!
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&|RTLGwX dkCUU 场追迹仿真(相机探测器) LGW_7&0<< Q@NFfJJ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
o59$vX, •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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^->S7[N? %8xRT@Q 场追迹仿真(电磁场探测器) woPj>M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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7 [u>#8 ^i!6z2/ 场追迹仿真(电磁场探测器) u-4@[*^T$ !3mt<i]a" •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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