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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    T|h'"3'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 `&o>7a;  
    T2MXwd&l  
    A!ak i}aT~  
         p!p:LSk"/b  
    建模任务 "v5jYz5M  
    <FU1|  
    9 IY1"j0O  
    概述 $or8z2d1  
    #~;:i  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \Qe`>nA  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2g_2$)2  
    C_V5.6T!  
    HmVpxD+  
    \={A%pA;@{  
    光线追迹仿真 +>o} R?xj  
    Q`[J3-Q*{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bRK[u\,  
    •单击go! APL #-`XC  
    •获得了3D光线追迹结果。 pwr]lV$w  
    rsC^Re:*jr  
    $|!@$Aj  
    h<IPV'1  
    光线追迹仿真 1A;f[Rze  
    >`D$Jz,  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e:zuP.R  
    •单击go! {x/)S*:Z  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 #)EVi7UP  
    ? EXYLG  
    ^WmP,Xf#  
    Y|N.R(sAs&  
    场追迹仿真 >r5s>A[YC  
    2sNV09id  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nM6/c  
    •单击go! '7/c7m/$X<  
    k5]`:k6  
    R}Z2rbt  
         g0-J8&?X  
    场追迹仿真(相机探测器) KPMId`kf  
    %L eZd}v  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zkmfu~_)  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 CWS&f g%o{  
    /;a b"b  
    )0p7d:%mV  
    LKe ~  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ^%~ux0%^T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S|v")6  
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    6=i@t tAK  
         Iji9N!Yx  
    场追迹仿真(电磁场探测器) X*Cvh|  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M~t;&po  
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