T |h'"3' 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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A!aki}aT~ p!p:LSk"/b 建模任务 "v5jYz5M <FU1|
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IY1"j0O 概述 $or8z2d1 #~;:i •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
\Qe`>nA •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
2g_2$)2 C_V5.6T!
H mVpxD+ \={A%pA;@{ 光线追迹仿真 +>o}
R?xj Q`[J3-Q*{ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
bRK[u\, •单击go!
APL #-`XC •获得了3D光线追迹结果。
pwr]lV$w rsC^Re:*jr
$|!@$A j h<IPV'1 光线追迹仿真 1A;f[Rze >`D$Jz, •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
e:zuP.R •单击go!
{x/)S*:Z •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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^WmP,Xf# Y|N.R(sAs& 场追迹仿真 >r5s>A[YC 2sNV09id •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
nM6/c •单击go!
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R}Z2rbt g0-J8&?X 场追迹仿真(相机探测器) KPMId`kf %LeZd}v •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
zkmfu~_) •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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)0p7d:%mV LKe~ 场追迹仿真(电磁场探测器) ^%~ux0%^T •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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6=i@ttAK Iji9N!Yx 场追迹仿真(电磁场探测器) X*Cvh| ,T\)%q •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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