切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 642阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    Qv'x+GVW]  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 0WKS  
    lIx./Nf  
    K1R?Qt,qDF  
         Fv)E:PnKC  
    建模任务 -F*vN'  
    A n`*![  
    =-r); d  
    概述 ? * ,  
    _Yp~Oj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]xoG{%vgb  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 XjP;O,x  
    Zo^]y'  
    %{3q=9ii  
    ~Mar  
    光线追迹仿真 /J!:_Nq  
    #639N9a~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7hu7rWY`E  
    •单击go! FIVC~LDd  
    •获得了3D光线追迹结果。 x H=15JY1W  
    l1O"hd'~s  
    Wi!"V cn  
    .oLV\'HAR  
    光线追迹仿真 0b n%L~KU  
    P7Qel,  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 T2.[iD!A  
    •单击go! aHYISjZ]>  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 [.Kp/,JY  
    IFS_DW  
    y5O &9Ckw  
    Ar,n=obG  
    场追迹仿真 nfGI4ZE  
    7OG:G z+)x  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Su? cC/  
    •单击go! >nih:5J,ja  
    kcg\f@d$  
    &|RTLGwX  
         dkCU U  
    场追迹仿真(相机探测器) LGW_7&0<<  
    Q@NFfJJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o59$v X,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ^[Ka+E^Q  
    =8<~pr-NO  
    ^->S7[N?  
    %8xRT@Q  
    场追迹仿真(电磁场探测器) woP j>M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m~Q24Z]!'&  
    y35~bz^2  
    7[u>#8  
         ^i!6z2/  
    场追迹仿真(电磁场探测器) u-4@[*^T$  
    !3mt<i]a"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y5+%8#3  
    H, :]S-T  
     
    分享到