o{7wPwQ;* 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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/j46`F *;cvG?V 建模任务 Z0HfrK#oU blO(Th&
X5@+M!` 概述 Cw6\'p%l-\ @oE^( •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
@h7)M:l •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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4-08 C.qNBl* 光线追迹仿真 'KvSI=$ K#Ia19au5 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
.n$c+{ •单击go!
6S K;1Bp-{ •获得了3D光线追迹结果。
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光线追迹仿真 8/W(jVO(- Ckd
j| •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
WH|TdU$V •单击go!
jW]Q- •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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M%&1j >d +4L]Z;k 场追迹仿真 U{1%ldOJ% 7R5m|h`M •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
r2ZSkP. •单击go!
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>j2= 场追迹仿真(相机探测器) 1t+uMhy*y /{6&99SJcc •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
1S[4@rZ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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场追迹仿真(电磁场探测器) DpCe_Vb%M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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wXixf2 场追迹仿真(电磁场探测器) +MR]h
[ cT21 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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