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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    o{7wPwQ;*  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 S-l<+O1fy  
    ;c p*]  
    /j46`F  
         *;cvG?V  
    建模任务 Z0HfrK#oU  
    blO(Th&  
    X5@+M!`  
    概述 Cw6\'p%l-\  
     @oE^(  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @h7)M:l  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E><$sN6  
    nSY3=Edx=  
    c\A 4-08  
    C.qN Bl*  
    光线追迹仿真 'KvS I=$  
    K#Ia19au5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .n$c+{  
    •单击go! 6S K;1Bp-{  
    •获得了3D光线追迹结果。 U'~M(9uv:  
    {txW>rZX  
    y7pwYRY  
    @^P<(%p  
    光线追迹仿真 8/W(jVO(-  
    Ckd j|  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WH|TdU$V  
    •单击go! jW]Q-  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 3dO~Na`S  
    ;]v{3m  
    M%&1j >d  
    +4L]Z ;k  
    场追迹仿真 U{1%ldOJ%  
    7R5m|h`M  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 r2ZSkP.  
    •单击go! 5&)T[Q X`  
    pLYLHS`*  
    e={ ?d6  
         ^^ >j2=  
    场追迹仿真(相机探测器) 1t+uMhy*y  
    /{6&99SJcc  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1S[4@rZ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 \_io:{M  
    Q|KD$2rB  
    \/XU v(  
    79&=MTM  
    场追迹仿真(电磁场探测器) DpCe_Vb%M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @LSfP  
    t,NE`LC  
    _tlr8vL  
         , wXixf2  
    场追迹仿真(电磁场探测器) +MR]h [  
    c T21  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hZIbN9)8A  
    ]ZR}Pm/CA  
     
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