[NE! 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 eTjPztdJbx Zsapu1HoL\
5$+7Q$Gw 概述 \X\< +KU }Nn+Ny •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
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(Ly8"1; •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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V^tD@N Oa:C'M
b 光线追迹仿真
gwIR3u ]?_~QE` •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
#NyO' •单击go!
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o2oQ3 •获得了3D光线追迹结果。
kj2qX9Ms KRGj6g+
ZzK^bNx)0 4w|t|? 光线追迹仿真 W2h*t"5W kT
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
zATOFV •单击go!
YCP D+ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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]X<q uuL 7>im2"zm
%wl:>9] #3ZAMV 场追迹仿真 w)J-e gc "E7<S5cr •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
D|U bh ] •单击go!
f\?Rhyz P_jav0j7g
q8ZxeMqx% |5>A^a 场追迹仿真(相机探测器) J|jvqt9C `dF~' •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
N/lEfy<&g: •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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uN?Lz1W\; Xqe Qj}2kA 场追迹仿真(电磁场探测器) MYV3</Xj* •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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CUTjRWQ ((AK7hb 场追迹仿真(电磁场探测器) {88|J'*L 3qGz(6w6E •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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