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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    [NE!  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 FV9{u[3m  
    |-6`S1.  
    Z4G%Ve[  
         SOG(&)b  
    建模任务 eTjPztdJbx  
    Zsapu1HoL\  
    5$+7Q$Gw  
    概述 \X\< +KU  
    } Nn+Ny  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 V_ (Ly8"1;  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3]1 ! g6  
    +E9G"Z65iP  
    V^tD@N  
    Oa:C'M b  
    光线追迹仿真  gwIR3u  
    ]?_~QE`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  #NyO'  
    •单击go! \ o2oQ3  
    •获得了3D光线追迹结果。 kj2qX9 Ms  
    KRGj6g+  
    ZzK^ bNx)0  
    4w|t|?  
    光线追迹仿真 W2h*t"5W  
    kT   
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zATOFV  
    •单击go! YCP D+  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 F ]X<q uuL  
    7>im2"zm  
    %wl:>9]  
    #3ZAMV  
    场追迹仿真 w)J-e gc  
    "E7<S5 cr  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D|U bh]  
    •单击go! f\?Rhyz  
    P_jav 0j7g  
    q8ZxeMqx%  
         |5>A^a  
    场追迹仿真(相机探测器) J|jvqt9C  
    `dF~'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N/lEfy<&g:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 %npLgCF  
    :icpPv  
    uN?Lz1W\;  
    Xqe Qj}2kA  
    场追迹仿真(电磁场探测器) MYV3</Xj*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B}NJs,'FJ  
    U`N?<zm<oO  
    CUTjRWQ  
         ((AK7hb  
    场追迹仿真(电磁场探测器) {88|J'*L  
    3qGz(6w6E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )Dms9:  
    *:\[;69[  
     
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