白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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e2nZwPH hD,^mru 2. 建模任务 drwxrZt
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<0l:B;3 wt_ae|hv 3. 干涉条纹的变化 4 #lLC-k
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> -fXn "4*QA0As 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 vKkvB;F41 F[v^43-^_
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\ 6. VirtualLab Fusion 技术 aH500 t3Iij0b~
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