白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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+|O&k z-kB!~r 2. 建模任务 pH?"@
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[sG!|@r VZU@G)rd 3. 干涉条纹的变化 {y>Kcfc/?E
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pW2-RHGJY g6q67m<h 4. 走进VirtualLab Fusion O#b%&s"o
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ZOHGGO]1M #xxs^Kbqa# 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 t. kOR< d?OsVT;U
f(*^zga, ->U9u lTC 6. VirtualLab Fusion 技术 2NqO,B|R z_ia3k<
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