白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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R 2. 建模任务 FAw1o
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'OD)v /OG zt 3. 干涉条纹的变化 M?$ZJ-
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H O*YBL o/^1Wm= 4. 走进VirtualLab Fusion h&`y$Jj
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Juu+vMn1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 YG`?o N}x9N.
2khh4?|\ ?:uNN 6. VirtualLab Fusion 技术 Skxd<gv )+EN$*H
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