白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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av!;k2" -rU_bnm 2. 建模任务 oYN"L
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hZ 1enej) Kzn1ct{65! 3. 干涉条纹的变化 "Vq=
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@.7/lRr@bp A8.noV 4. 走进VirtualLab Fusion a[nSUlT&
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?7NSp2aq2A Kn->R9Tl 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ntH`\ )xi ]6M<c[H>
b[:,p?:@ h)Fc<,vwBE 6. VirtualLab Fusion 技术 tn$TyCzckW rY(7IX
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