白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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J~DP*}~XK HPCgv?E3 2. 建模任务 <k5FlvE2
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|RwD]2H ay'=M`uO_ 3. 干涉条纹的变化 #:vos VqG
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+C{ ,<|EoravH 4. 走进VirtualLab Fusion 27E6S)zv
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Tc&b |>A1J: 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 }%y_LcL f&ZxG,]Hi
Fmt5"3B }&rf'E9 6. VirtualLab Fusion 技术 ^P:9iu)+]~ vjZX8KAiZ
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