白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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{8'I+- FL-sXg 2. 建模任务 SxH b76 ;
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;j S~0R `Fnt#F} 3. 干涉条纹的变化 u|i.6:/=
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F`+}p- d'q,:="c 4. 走进VirtualLab Fusion r,a V11{
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qE!.C}L+ ^pIT,|myY7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 @LqLtr@A "'~55bG
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" 6. VirtualLab Fusion 技术 9/'zk F=bX\T7
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