白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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)+w0NhJw /H^bDUC :r 2. 建模任务 -<&"geJA
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(_~/# 3. 干涉条纹的变化 l%B1JGu*F
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#=t:xEz IG +nrTY0 4. 走进VirtualLab Fusion 3SQ
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@oYq.baHX X?rJO~5 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 C& Nd|c & PHHacp
@u6#Tvxy[ 9'//_ A, 6. VirtualLab Fusion 技术 KU33P>a"[k Q'~;RE%T
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