白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
CGny#Vh #tGW|F
q>o1kTI Kcl>uAgU 2. 建模任务 ^ JJ*pT:
E0Ig/
j
m" .8- Rw=gg>\ 3. 干涉条纹的变化 &mp=j GR
@e3O=_m-
iO>2#p8$NR )lBke*j~ 4. 走进VirtualLab Fusion *Xn{{
7 S(5\9
d
0$)Y|d> Rs8^ 27 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 N>xs@_"o yM=%a3
dzKI?i)x edx-R-Dc-1 6. VirtualLab Fusion 技术 q`{crY30 M._9/
*C U
H?m9HBDpn