白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
KfU4#2} idwiM|.iU
BReNhk)S 05(lh<C 2. 建模任务 sOSol7n
gI&& LwT4
`?Pk~7 rh*Pl]'3z 3. 干涉条纹的变化 RVFQ!0
C
i$)`U]
Gy9+-7"V 1cE3uA7 4. 走进VirtualLab Fusion w][1C\8m
|bQX9|L
/znW$yh o ~q]+\qty4 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 SRl:+!@. i|X ;n
K/Q^8%Z G9s: Wp 6. VirtualLab Fusion 技术 x+zz:^yHYf T}(J`{9i
N|c;Qzl