白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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p nI= f^u-Myk 2. 建模任务 r;[ =y<Yf
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x{<l8vL=-c .PR+_a-X 3. 干涉条纹的变化 j4#uj[A
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%-.;sO=g pPo xx"y 4. 走进VirtualLab Fusion -]D/8,|s
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LfFXYX^ fbbbTZy 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 n;N79`mZC s<k2vbhI
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