白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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!+M H?A uu>[WFh 2. 建模任务 I#Tl
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MB;GIb# DZXv3gnX 3. 干涉条纹的变化 A?;/]m;
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Y#6@0Nn[G I01On>"@7 4. 走进VirtualLab Fusion @/JGC%!
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xm YA/wt8 U)p2PTfB 6. VirtualLab Fusion 技术 oqDW}>. J&a887
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