白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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G4jyi&] {?YBJnG}x 2. 建模任务 *P;
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'Z}3XVZEN \NF5)]: 3. 干涉条纹的变化 Ej#pM.
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*$ kpSph 3k_bhK zI 4. 走进VirtualLab Fusion <nk7vo?Ks
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S(ky: YW7Pimks 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 6+LBs.vl} 8:gUo8
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E / yB5JvD ? 6. VirtualLab Fusion 技术 8s9ZY4_ t->I# t7
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