白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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H_S"4ISS_ -;6uN\gq 2. 建模任务 "WmsBdO
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t:oq't w(S&X"~ 3. 干涉条纹的变化 uk WL3
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k\KG GHLFn~z@XJ 4. 走进VirtualLab Fusion AK'3N1l`
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2YQBw,gG +7lr#AvU/ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ettBque <o|k'Y(-
*yZta:(w-W dpge:Qhr 6. VirtualLab Fusion 技术 1W0[|Hf2v* qKeR}&b
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