白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
cg,Ua!c F$i$a b
%MN.O-Lc Rv,82iEKs 2. 建模任务 S.: 7k9
{=3B)+N
mwIk^Sz]@ b4CF`BG 3. 干涉条纹的变化 FY8!g'.Oe
kae2 73"
_wz2 f3G1r5x 4. 走进VirtualLab Fusion 'G8 ?'u_)
OqBC/p
B
@TysXx )|pU.K9qZ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 {(}yG_Q]! C`NmZwL
0oSQY[ht/ $eBQH 6. VirtualLab Fusion 技术 9/@ &* P`EgA
1[ SA15h