白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
2`A\'SM'4 z_%}F':
#Yx
/ubg6 8TCbEPS@Q 2. 建模任务 Da
]zbz%%
LCMn9I
=\gK<Xh 8Ud.}<
Zi 3. 干涉条纹的变化 t: 03
mV.26D<c
s]Z++Lh<{ nG7E j#1 4. 走进VirtualLab Fusion q3ebps9^
l} W">
yQ0
p~z\&&0U0
vu3zZMl 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 BHR(B]EI =xr2-K)e
YbJB.;qK W.>}5uVl6 6. VirtualLab Fusion 技术 f<vZ4 IU R:U!HE8j
9^@#Ua