白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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I$qL= 6JRee[ 2. 建模任务 s26s:A3rh
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U <4<8' 6g akopZO 3. 干涉条纹的变化 i-sE\m
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c)@M7UK[ _3A$zA 4. 走进VirtualLab Fusion {!^HG+
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