白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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ua &uR7 a2i:fz=[ 2. 建模任务 QZa^Cng~
d(R8^v/L
h4MBw=Tz~ cfg.&P> 3. 干涉条纹的变化 KxeqQ@
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[;F!\B- 2Ur&_c6P 4. 走进VirtualLab Fusion :?m"kh
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WX_g "{H{-`Ni 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 m(kv:5<> 3webAaO
nmE H/a T2)CiR-b 6. VirtualLab Fusion 技术 XpK
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