白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
/n"Ib)M n3da@ClBt
TGl It<& %ZDo;l+<F6 2. 建模任务 WyF1Fw
\=P+]9
pdUrVmW "' Yg3Vj= 3. 干涉条纹的变化 ""|vhgP
.v?Ir)
8!(4;fN$j. no~hYyW2 4. 走进VirtualLab Fusion z<YOA
fRS)YE@a:
#T &z` 'Y Bz?l9 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 7A@]t_83Y j-e/nZR@
@Fv"j9j-3G } Wx#"6 6. VirtualLab Fusion 技术 +KGZk?% M@ t,P?
,<!_MNw[