白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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8g6G},Y0 ;c|G 2. 建模任务 7F8>w 7Y]
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z 3. 干涉条纹的变化 !N\i9w}
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HfA@tZ5q|U Bu#\W 4. 走进VirtualLab Fusion |1UJKJwX
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PZhpp" nj7\vIR7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 O],]\M{GL 9FmX^t$T
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