白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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(E 5
&C9)%5O) if1)AE- 2. 建模任务 3WGOftLzt
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u!VrMH ST0|2)Lh" 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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_Mh..#)`[ [#:yOZt 6. VirtualLab Fusion 技术 D/2;b;- VhgcvS@V
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