白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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r+%}XS%;h rSvQarT 2. 建模任务 /<$\)|r
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&I$MV5)u %0!!998 3. 干涉条纹的变化 nuip
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hln.EAW'Yc k*3F7']8 4. 走进VirtualLab Fusion D-tm'APq
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E9IU,P6a ?(4E le 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 :Ej#qYi <!s+X_^
'*~_!lE5 b!7*bFTt 6. VirtualLab Fusion 技术 WDC+Jmlgp ebSG|F
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