白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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nU%rSASu Ac<V!v71 2. 建模任务 ":?>6'*1
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<9eQ ,6PV"E)_ 3. 干涉条纹的变化 yyxGVfr
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yi%A*q~MT /ow/)\/} 4. 走进VirtualLab Fusion <I'kJ{"
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A\ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 b")&"o)G2W bG67TWY)
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