白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
zIS ,N ' KOXG=P0
pMViq0 '4u/ g 2. 建模任务 @RuMo"js
3%o}3.P,:@
]=xX_ DQV9= 3. 干涉条纹的变化 eA?|X|
p}gA8o
3&M0@/ Gkfzb>_V] 4. 走进VirtualLab Fusion v<l]K$5J&
'4~I%Z7L
X#h a*u~U UMD\n<+cG, 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Qu8=zI>t 7!Im|7Ty
3syA$0TZt IIBS:&;+- 6. VirtualLab Fusion 技术 j%Uoigi &P35\q
a[}?!G-Wt|