白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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UQI!/6F uR=*q a 2. 建模任务 U e-AF#
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F:Vl\YZ )#Ecm<.^ 3. 干涉条纹的变化 Hl}m*9<9us
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aA%x9\Y U_9|ED: 4. 走进VirtualLab Fusion XYV`[,^h&
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SA"4|#3>7 b;`MHEzw&q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 -R$ Q`Xw yqJ>Z%)hf
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