白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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hF2e-- S{=5nR9 j 2. 建模任务 c{M
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enQ*uMKd^ 3. 干涉条纹的变化 J,Sa7jv[
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U{2xgNJ e*:K79y 4. 走进VirtualLab Fusion qf? "v;
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Sm'Tz&! (0 T!-hsP 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 u$T]A8e $bTtD<