扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
@ &c@ [HXd|,~_j-
}`whg8 fZ 6#d+BBKIc 建模任务 *[nS*D\: cL%eP. YbVZK4 仿真干涉条纹 9MRe? R{4[. l5e`m^GK 走进VirtualLab Fusion i+-Y"vRi gO~>*q &
tchpO3u, AxJf\B8 VirtualLab Fusion中的工作流程 UL8"{-`_\ ^YPw'cZZ& •设置输入场
c_?!V K<ldl. •使用导入的数据自定义表面轮廓
78z/D|{" •定义元件的位置和方向
z<"\I60Fe .dBW{|gN •正确设置通道以进行非
序列追迹
YWhS< }^ 9OF(UFgS •使用
参数运行检查影响/变化
$<wU>X Q!Dr3x [Az^i>iH
tIX|oWC$q #5kg3OO VirtualLab Fusion技术 . =A|