扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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dc+>m,3$ }/0X'o 建模任务 (R[[Z,>w. c?(4t67| ^H p; .f. 仿真干涉条纹 : Xda1S SXSgld2uS 6C1#/ 走进VirtualLab Fusion MD}w Y><C }kw#7m54
EKYY6S2 9a[9i}_ VirtualLab Fusion中的工作流程 fbyd"(V8r \0^Kram> •设置输入场
5c@,bIl * sf:,qD=z •使用导入的数据自定义表面轮廓
aj-Km`5r} •定义元件的位置和方向
-vAC"8)S aG-vtld •正确设置通道以进行非
序列追迹
3<e=g)F lB8-Z ow •使用
参数运行检查影响/变化
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