扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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8(ej]9RObU 5L\& "[' 建模任务 @jY=b< x>$e* wGg_ vAn 仿真干涉条纹 Cd2A&RB \45F;f_r6 i8->3uB 走进VirtualLab Fusion Lz{z~xNHW. g0ks[ }f- 
mLm?yb: )9i$ 1 "a( VirtualLab Fusion中的工作流程 <\ EJ: :T )R;E@ •设置输入场
W`v$-o- 03H0(ku= •使用导入的数据自定义表面轮廓
^:~!@$*;6 •定义元件的位置和方向
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序列追迹
yQ0:M/r;0 $Da?)Hz'F •使用
参数运行检查影响/变化
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49.B!DqQW& L yH1tF VirtualLab Fusion技术 Jb*E6-9G
