扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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( &x['IR 13/]DF,S"^ 建模任务 T^]}Oy@e,J DLNbo2C BING{ew 仿真干涉条纹 [z9Z5sLO 0+b1vhQ K!l5coM 走进VirtualLab Fusion A\5L
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8DaL,bi*. Od)C&N=y VirtualLab Fusion中的工作流程 ^5
Tqy(M d m%8K6| •设置输入场
<1M-Ro?5k Ozf@6\/t •使用导入的数据自定义表面轮廓
;gr9/Vl •定义元件的位置和方向
r",GC] qJUK_6|3 •正确设置通道以进行非
序列追迹
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c •使用
参数运行检查影响/变化
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