扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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30>3 !Xqa qIIJ4n 建模任务 #]P9b@@e EV pi^>M 3"N)xO- 仿真干涉条纹 ?e[lr>- m_+sR!\H8 5Xn.CBd] 走进VirtualLab Fusion _>+8og/%@ "]K>j'^Zs<
+N`ua YNwp/Y VirtualLab Fusion中的工作流程 ':{>a28= oVFnlA •设置输入场
\K`L3*cBKK 6AG`&'" •使用导入的数据自定义表面轮廓
ApBWuXp|u •定义元件的位置和方向
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序列追迹
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参数运行检查影响/变化
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