扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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'M#'BQQ5 3yfq*\_uXw 建模任务 G:2m)0bW ,??%["R {~"6/L 仿真干涉条纹 bLysUj5[5 OxraaN` 5/O;&[l Yy 走进VirtualLab Fusion 6*<=(SQI oZV=vg5Dq
-B-nTS` I!ykm\< VirtualLab Fusion中的工作流程 |E)Es!dr tzhkdG •设置输入场
\&p MF N@>,gm@UU •使用导入的数据自定义表面轮廓
#~r+ •定义元件的位置和方向
ji[O? x^|J- •正确设置通道以进行非
序列追迹
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参数运行检查影响/变化
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