扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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gE8=#%1< :nki6Rkowt 建模任务 U85t !U $q#|B3N% ~7PPB|XY 仿真干涉条纹 FG8genCH@ 0Eq.l < ;6aTt2BQ 走进VirtualLab Fusion x#yL&+'?Mj ]X4
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;w1?EdaO x9r5 ;5TI VirtualLab Fusion中的工作流程 k,0RpE xM85^B' •设置输入场
7NG^X"N{Ul ^T\JFzV •使用导入的数据自定义表面轮廓
*LJN2; •定义元件的位置和方向
mNw|S*C & i|x2;
v •正确设置通道以进行非
序列追迹
oD_'8G} "El$Sat` •使用
参数运行检查影响/变化
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