扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
QNArZ6UQ <hv7s,i 
J=*K"8Qr ug#<LO-.Rd 建模任务 c'0 5{C ?3jdg ]& s$GF 95^ 仿真干涉条纹 J8;Okzb!L tU:FX[&?R i03gX<=* 走进VirtualLab Fusion 85z;Zt0{ z+/LS5$ 
5v9uHxy d#\W hRE VirtualLab Fusion中的工作流程 kcS6 _ l Rp/-Pv
•设置输入场
T~J? AKx C[YnrI! •使用导入的数据自定义表面轮廓
]XUSqai •定义元件的位置和方向
2xTT)9Tq* S$ O,] @) •正确设置通道以进行非
序列追迹
<xlm
K( r1Z<:}ZwK •使用
参数运行检查影响/变化
%
{Q-8w! <&U!N'CE J^ = {} 
*#2Rvt*Ox @^? XaU VirtualLab Fusion技术 <AUWby,"
