[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Fx@@.O6  
gOn^}%4.I  
%<'PSri  
NSQf@o  
建模任务 Ndqhc  

yv.(Oy  
     4:qM'z  
仿真干涉条纹 c+]5[6  
*7!*kqg!u  
     F0+@FS0  
走进VirtualLab Fusion
o%?~9rf]]  
     )Jd{WC.  
Ec|5'Kz]  
     __,}/|K2  
VirtualLab Fusion中的工作流程 +FtL_7[v  
qvN 5[rb  
•设置输入场 !8OUH6{2  
JJE0q5[  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 -'::$ {  
•定义元件的位置和方向 !\N|$-M  
sqk$q pV6  
•正确设置通道以进行非序列追迹 .k:Uj-&  
h%(0|  
•使用参数运行检查影响/变化 ~bSjZ1`  
gX*i"Y#
 
     ;p2a .P  
N+0`Jm  
     Ke,$3Yx  
VirtualLab Fusion技术 GbbD)