[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 <LRey%{q  
e6_ZjrQf  
mXUYQ82  
%7g:}O$  
建模任务 fh^lO ^  
-R>}u'EG>  
     l
1]p'Liuu  
仿真干涉条纹 Dz./w  
R/`q/0T.  
     L,;D@Xi  
走进VirtualLab Fusion RmrL^asg  
     G^"Vo
x4  
0P>OJYFr'  
     nADX0KI  
VirtualLab Fusion中的工作流程 lO:.OZu  
8QK5z;E2~  
•设置输入场 ?|e'Gbb_  
1N2,mo?2  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 4d
:{HLX,  
•定义元件的位置和方向 ! Q<>3xZ  
c%*($)#  
•正确设置通道以进行非序列追迹 LI)!4(WH  
w:'dhr':  
•使用参数运行检查影响/变化 jPnM>=  
'B0{U4?   
     _7DkS}NJs  
_lW+>xQ  
     a(]`F(L  
VirtualLab Fusion技术 @Mvd'.r<;