[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 mEe JK3D[  
`ynD-_fTN  
bPtbU:G  
z,B'I.)M  
建模任务 O486:tF  
ryp@<}A]!d  
     Af>Ho"
i  
仿真干涉条纹 ~;0J4hR  
hE>i~:~R  
     2@S
{e$YK`  
走进VirtualLab Fusion !jxz
2Q  
     f^f{tOX  
/Hl]$sJY  
     @l:\Ka~TS  
VirtualLab Fusion中的工作流程 <w d+cPZQr  
Pz1[ b$%  
•设置输入场 29E9ZjSK  
ye)CfP=ID\  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 6uf+,F  
•定义元件的位置和方向 !fcr3x|Y~M  
+<P%v k  
•正确设置通道以进行非序列追迹 3N,
!y  
T7=~l)I  
•使用参数运行检查影响/变化 XZeZqBr  
3g]Sp/  
     NK+iLXC  
8j}CP  
     9+\3E4K  
VirtualLab Fusion技术 ;Qc_Tf=,