扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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c9DX wxvt:== VirtualLab Fusion中的工作流程 0(0Ep(Vj =]"[?a > •设置输入场
5>$*#0%"} DlTV1X-^1 •使用导入的数据自定义表面轮廓
8=t?rA •定义元件的位置和方向
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h|6&yI ZH.l^'(W •正确设置通道以进行非
序列追迹
sp'q=^t FVL0K(V( •使用
参数运行检查影响/变化
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jhK&Z7; l,pq;>c9a VirtualLab Fusion技术 <@e6zQG