[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 #KwF
rlZ  
xiiZ'U  
)c*~Y=f  
7D,+1>5^Ne  
建模任务 6\`,blkX  
]PFc8qv{  
     Ldu!uihx  
仿真干涉条纹 al2v1.Y}  
$t]DxMd  
     &&JMw6 &[`  
走进VirtualLab Fusion B3D4fYQ  
     1_'ZbZv4h  
LZeR.8XM>  
     Au {`oxD  
VirtualLab Fusion中的工作流程 0Ec -/   
NO&OuiN  
•设置输入场 t :_7O7  
O;XF'r_  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 #X)s=Y&5!T  
•定义元件的位置和方向 *6h.#$\  
mb#)w`<  
•正确设置通道以进行非序列追迹 D -jew&B  
BdceINI  
•使用参数运行检查影响/变化 4]cOTXk9C  
@U&|38  
     bx@CzXre;  
i55']7+0  
     {kC]x2 U  
VirtualLab Fusion技术 &,\S<B2.