扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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a}FyJp VirtualLab Fusion中的工作流程 l_:P| [5p9p1@u{C •设置输入场
r1%{\< zE$HHY2ovi •使用导入的数据自定义表面轮廓
,v8e7T •定义元件的位置和方向
zM&ro,W ,IboPh&Q78 •正确设置通道以进行非
序列追迹
IMqe( Bx|W#:3e •使用
参数运行检查影响/变化
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