[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 MA6%g} o  
}rZ=j6Z  
a8aqcDs>O  
4O^1gw  
建模任务 Nq6CvDXi  
i=QhXCM  
      y-#tU>P  
仿真干涉条纹 Ec 7M'~1  
1dsxqN(:  
     !:{_<C"D  
走进VirtualLab Fusion "iG
c'?/+  
     +]vl8, 4@  
1*jm9])#  
     h--bN*}H2  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Sn&%epi  
`BD`pa7.%  
•设置输入场 kyB]fmS  
?0Zw ^a  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 mIodD)?{  
•定义元件的位置和方向 {'kL]qLg  
So`"z[5  
•正确设置通道以进行非序列追迹 i(HhL&  
B=|sLs`I  
•使用参数运行检查影响/变化 L 3@wdC~0  
32D/%dHC  
     {piS3xBi  
}3lF;k(2g  
     V485Yn!$(  
VirtualLab Fusion技术 a@J:*W