扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
ZM -P uuwJ-
]goJ- & ydO+=R0M 建模任务 }#ta3 x C/Z#NP~ * QCZ88\jX[ 仿真干涉条纹 3\j`g /KOI%x ?<3 d
Fb 走进VirtualLab Fusion 77[TqRLf *izCXfW7
\)t//0 J+IItO4% VirtualLab Fusion中的工作流程 grgs r_)[ J(d+EjC •设置输入场
tmS2%1o mwLf)xt0' •使用导入的数据自定义表面轮廓
WFahb3kx •定义元件的位置和方向
}g-w[w 7p iQ:eR]7X •正确设置通道以进行非
序列追迹
\h#aPG<yo P8X9bW~GQ •使用
参数运行检查影响/变化
K<5yjG8& :s_.K'4?a }B7Txo,Z
~8nR3ki &2XH.$Q VirtualLab Fusion技术 "y"oV[`