扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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asb")NfIm _~r>C 建模任务 W NCd k$ GauIe0qV 6K6ihR!d 仿真干涉条纹 `%VrT` MC3{LVNK :D EZ$gi 走进VirtualLab Fusion JL1Whf 0<!BzG
UCFef,VW Cs< d\"+ VirtualLab Fusion中的工作流程 LY7'wONx gs'(px •设置输入场
eG<32$I KpWQ;3D2 •使用导入的数据自定义表面轮廓
><Z2uJZ4x •定义元件的位置和方向
I2b[ -7u4f y{T •正确设置通道以进行非
序列追迹
16AYB17 q~lmOT~E •使用
参数运行检查影响/变化
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