扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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GVG!sMmnX rKzlK 'U 建模任务 8lOI\- 5r4gmy> qWO]s=V! 仿真干涉条纹 e3eVvl5] W7L+8LU; vUYJf99B 走进VirtualLab Fusion 1TNz&=e JoCA{Fa}
.G}k/`a 'Y!pY]Z VirtualLab Fusion中的工作流程 wmo{YS3t|
\Mb(6~nC •设置输入场
[q-;/ed k&)K( •使用导入的数据自定义表面轮廓
M
XZq •定义元件的位置和方向
0e+W/Tq [?chK^8 •正确设置通道以进行非
序列追迹
>z=Ou<, ~uI**{ •使用
参数运行检查影响/变化
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