扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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m}T^rX%m_ %'kaNpBz VirtualLab Fusion中的工作流程 jx!)N> /4YXx|V •设置输入场
W*QD' $B7<1{<=W •使用导入的数据自定义表面轮廓
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p \; * : ^uW](2 •正确设置通道以进行非
序列追迹
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参数运行检查影响/变化
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