扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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8JU9Qb]L'I dSkW[r9Z%l 建模任务 =V@5W[bV |9F^"7Q~C 9y~5@/32R 仿真干涉条纹 @,Iyn<v{B wewYlm5@ bH-QF\> 走进VirtualLab Fusion |Ts|>"F' vThK@P!s
QD}'2{M! : ;nvqb d VirtualLab Fusion中的工作流程 xSQ:#o=8G "0(H! }D •设置输入场
QyGTm"9l s5DEuu>g •使用导入的数据自定义表面轮廓
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K o •定义元件的位置和方向
7( &\)qf=n 9"=1 O •正确设置通道以进行非
序列追迹
6 Ch
[!=p{ .FarKW •使用
参数运行检查影响/变化
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