扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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=X3Rk)2r UT%?3}*u" 建模任务 B-oQjr- o(stXa y_M,p?]^, 仿真干涉条纹 J'C% | Zj=E$ Y'O3RA5E 走进VirtualLab Fusion 8SN4E [5-3PuT&9
-Mzm~@_s] E`b<^l` VirtualLab Fusion中的工作流程 TJ>$ ~9&Sy "+A8w •设置输入场
?t [C?{' e"cvo(}g •使用导入的数据自定义表面轮廓
!'(QF9%Q •定义元件的位置和方向
lZJbQ=K{ /DX6Hkkj % •正确设置通道以进行非
序列追迹
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参数运行检查影响/变化
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