[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 7NRq5d(lP  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 X3#|9  
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•设置输入场 ,(}7 ST  
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 kYl$V=  
•定义元件的位置和方向 uz".!K[,wE  
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•正确设置通道以进行非序列追迹
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•使用参数运行检查影响/变化 6BRQX\  
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