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TN(1oJ: 摘要 ~p^6 {73Z$w1% /z`LB 8IbHDDS 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 $GEY*uIOa ,{7Z OzA 建模任务 v-EcJj% Ee d2`~ GVe[)R +wr2TT~ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Q%
)fuI an=8['X &")ON[|b Bk*AO?3p 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )mS
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