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jRzR`>5 摘要 (1*?2u*j SI U"cO4 ^KmyB6Yg u[y>DPPx 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 !\^c9Pg|v v$lP?\P;}X 建模任务 UEt#;e W.{#Pg1Da .F&\xa{ Rax}r 由于组件倾斜引起的干涉条纹 WnU"&XZ (:-=XR9A` %/jmQ6z^ -&y{8<bu4H 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 t: r Lr_+)l RR*<txdN
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