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O-Hu:KuIf 摘要 sv\'XarM ,{:c<W:A] _ _cJ+%e qJ|ByZ.N+ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 kB1]_v/ ! utgo/n 建模任务 I2kqA5>)j `GOxFDB. zy`4]w$Lj+ 2Fi>nJ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ~r;da 9 {dvrj<? SjD, !Sr^4R +Z 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 3lH#+@ {Uxah ov: h4
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