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7-ba-[t#A 摘要 fT8Id\6js h{sW$WA c`X'Q)c&K fu=}E5ScK 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 4ij` ;?2vW8{p< 建模任务 [NvEXTd FzpWT-jnDd [`fq4Ky i&>,aiH@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 0m`7|80#P s80_e >Fld7;L?< 5.[{PJ]bq 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 |-_5ouN. vEzzdDwi6 `z` `d*_
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