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YMG~k3Yb 摘要 F+<e9[ F:~k4uTW\b MV.&GUez{ f7_V ] 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 u> @@ n@=D,'cn 建模任务 mYx6JU*` 4e20\q_{ oUd R,;h9 d~abWBgC` 由于组件倾斜引起的干涉条纹 % `\}# 7lUnqX.
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JfQ}` 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 bHRRgR`, {Gvv^.H7 i'YM9*yN
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