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H:x{qS4Si 摘要 7^3a296 9pPohR*#V GQR|t?:t U>@st=" 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 3u tJlD u\uY q 建模任务 tsqkV7? {dk%j~w8 )q>mt/, r^2>60q' 由于组件倾斜引起的干涉条纹
AD=qB5: TSPFi0PP !-OPzfHrI yM}Wg~:D: 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 jJ B+UF= }qk8^W{ 555*IT3b
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