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30[?XVI& 摘要 .$S`J2Y UAH} ])U 1>l{c k,b(MAiQ0 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 UGr7,+N&w 7c<2oTN' 建模任务 1<fEz I)DLnnQQ ' J]V"Z) "hpK8vQ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 T4qbyui{ fl+
[(x< v@"xEf1n[ lXL\e(ow 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 !^G+@~U Wc03Sv&FZ $eRxCX?b2
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