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kii=/ HgY"nrogt$ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 O G#By6O `-S6g^Y 建模任务 V}ZF\SG(K S5]rIcM .Rxz;-VA l= % v 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ipfiarT~) PNgj 8J4 hH8:7i Ro`Hm8o/ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )y-y-B=+T rz0~W6 U knZee!FA7
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