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:8_`T$8i4 摘要 Z w5\{Z0 bmAgB}Ior ,<lxq<1I (/_Q
r2KfC 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 kCR)k=* +fhyw{ 建模任务 1q!JpC^ \ooqa<_ |zu>G9m vtFA#})~ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 0<L@f=i \QUvImT s9A'{F ISr~JQr 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 B-[SUmHr 33kI#45s qD\%8l.]Z
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