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\(U|& 摘要 wYh]3 ZpZoOdjslV X rut[)H kWgrsN+Z 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 jIWX6 5Z13s 建模任务 vyT-!mC #/)U0IR) VA%4ssy iGNZC{ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 /km0[M >dwY(a h2
>a_0" [V0%=q+ R 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 *\^(-p~M j{HIdP S~GS:E#
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