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^N{h3b8 摘要 wHMX=N1/ zL `iK"N` M {T-iW" MJ
[m 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 DKJmTH]rUg A1>OY^p3% 建模任务 ]{mPh\ G.a b ql j0evq+ P'[3Fqe 由于组件倾斜引起的干涉条纹 9} M?P }" %?et( lbl?k5 =BAW[%1b 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 94.DHZqh ""F5z,' 7XLtN "$$
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