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S+x_c4 T 摘要 H D/5!d ,[48Mspp E\)eu1Hw4B 83]PA<R 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 "Q+83adY4x ((DzUyK 建模任务 0x)dnq\ e`UQz$4! p5]_}I`+2 eE:&qy^ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 e (\I_ whc[@Tyx "/%89 HMD ;\b@)E} 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Yx?aC!5M Jj"HpK>[ OHp5z?
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