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dm4dT59 摘要 -QaS/WO_ 0q%=Vs~@g =\IcUY,4 EFl[u+
1tx 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 k]*DuVCOX V+A1O k) 建模任务 VN=S&iBa/ Y4PU~l aO@zeKg GnbXS> 由于组件倾斜引起的干涉条纹 }<Y3jQnl !/0XoIf" xe)< )y 4i'2~w{/ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 r>lC(x\B 1KxtHLLU 3mWd?!+m=
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