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zKI(yC 摘要 [,fMh $t CqF<
BE QGsUG_/_P bb#w]!q 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 K{0mb 2
OGg`1XX 建模任务 , X|oCD qg'm<[ zg^5cHP\ kiXa2Yn*(d 由于组件倾斜引起的干涉条纹 [OMKk#vW }]f)Fz uT=sDWD: *ZY{^f 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 v_Jp9 8IVKS> /.}&yRR
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