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t6"%u3W8M 摘要 !v}TRGX {s8c@-' a{`hAI${ ?tLApy^`? 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ZDW9H6ux g* YDgY 建模任务 }Ulxt:} :8`A 1'&.6{)P 0:V/z3? 由于组件倾斜引起的干涉条纹 W %*#rcdq }a;xs};X; D40 vCax^J j4/[Z'5ny 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 bv4umL / Yc7YNC. DP{nvsF
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