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ze!S4&B 摘要 o9)pOwk7; 8*rd`k1|g Qe=,EXf Z:VqBqK 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 I^iJ^Z]vx d52l)8 建模任务 }."3&u't ?CB*MWjd 7^|oO~x6 [6@{^ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 /+\m7IS 2s, [DC Sa!r ,l ^,L vQW4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 csg:#-gE G}aw{Vbg_ P-9[,3Zd
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