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z7J 摘要 ]L
k- -\ Y3H5}4QD 1%";| \9R=fA1 8 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 }V 4u`= {r#uD5NJ/ 建模任务 R}D[ z7 ]\/"-Y#4Q n.G.fbO qCF&o7*oN 由于组件倾斜引起的干涉条纹 tF.N {f;DhB-jj RW<4", UMK9[Iy$<M 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Bc'Mj=>; xZVZYvC,t i*T
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