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Q<w rO 摘要 u=p([
5] *=UEx0_!q m7~kRY514 AdKv!Ta5b 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 $:{uF# gM^ Hs7o, 建模任务 }gGcYRT sMs 0*B-[ :
v<|y F nH/V2>Lm 由于组件倾斜引起的干涉条纹 cQA;Y!Q# Ro$l/lXl8t u01x}Ff~6 qMmh2a& 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 A)/_: m';:): h/QZcA
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