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&&`-A6`p 摘要 w8(z\G_0 p!H'JNG *.A{p ;JC( !)LVZfQ0 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 9wpV} .( W$Op/ 建模任务 1ac;6` B1(T-pr Ec l/2 \EQCR[7qu7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Y]:Ch (Q Q<2`ek EOzw&M];r uN9J?j*ir 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 C0
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