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Gt !Hm( 摘要 \(5Bi3PA} nRX<$OzTV pBQ[lPCY/ H-X5A\\5 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 U[#q"'P|l aIWpgUd` 建模任务 l?;ReK.r :n
x;~f nXxnyom, U2JxzHXZ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _tO2PIL@Z n4ti{-^4|d T16B2|C"Y qEkhgJqk 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 -r0oO~KT #KtV 4)( O9p^P%U "
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