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P_Z M'[ 摘要 TS1pR"6l ol50d73B yXkt:O,i gRHtgR)T3 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Z?-;.G* Bu&So|@TL 建模任务 3be6p $Ru&>D#stK Qr<AV: V)=Z6 ti 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Qy/uB$q{A L,#^&9bHa# z23#G>I& NJk)z&M 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;r3}g"D@ (9E( Q*J5x KVg[#~3
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