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<V&0GAZ 摘要 53i]Q;k [ ]fM|cN8(zM m+(Cl#+ 2aYBcPFQh# 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 F/oqYk9` E 2nz 建模任务 /|?$C7%a\D 5BVvT
`< *] ihc u &,&+p0CSI! 由于组件倾斜引起的干涉条纹 T9nb ~P[ 25SWIpgG =[(34# G2`z?);1b 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 sO.MUj; ,X@o@W+L k\f
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