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&XTd[_VW! 摘要 cx%9UK*c H4",r5qw: iK0J{' eeR@p$4i 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 :v ~q ^7<m lr 建模任务 o:\j/+] | Dpfh yFtf~8s3 n&&U9sf? 由于组件倾斜引起的干涉条纹 nk.Eq[08 &=O1Qg=K Fd.d( T}x%=4<E 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 zC;lfy{f= m8A1^ R W%QtJB1)
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