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\#Md3!MG 摘要 O|%03q( w5fVug/;P m1bkY#\ U| NxY B)`~ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 4JQd/; 'Ur1I" 建模任务 tVfZ~qJ 6z`l}<q %Q,6 sH# BoJpf8e'-e 由于组件倾斜引起的干涉条纹 XZ%3PMq 3yGo{uW 0O>T{< 6%yt"XmT 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 hTfq>jIB_ /q1k)4?E F*u"LTH
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