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k'_f?_PBu 摘要 gW<6dP'v nU' qE m_;fj~m 0hhxTOp
干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Zs]n0iwM'@ !u'xdV+bf 建模任务 gD51N()s, q1q9W@H S6}_N/;6~ 064k;|>D 由于组件倾斜引起的干涉条纹 b*(K;`9)B }`2a>N:
& /* qx5$~ Qu1&$oO 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 O_qwD6s-_ /@|iI<| /{: XYeX
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