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UhEnW8^bz1 摘要 Ql\GL" FijzO _Y~+ #Vc t;4{l`dk 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 FJ2^0s/" leyX:
+ 建模任务 ZM)a4h,kcm H7\EvIM= s\ ~r
8 s+(8KYTs` 由于组件倾斜引起的干涉条纹 t=yM}#r$ ( E0be. n\P{Mc Rq\.RR]( 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 '7E?|B0], {WC{T2:8 qvab>U`
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