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SSbK[aR 摘要 ||ZufFO `4$Qv'X* 8yz((?LrDh Xb:BIp!e 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 wK`ieHmp )r,R!8 建模任务 rIfGmh%H aC
Lg~g4 jTUf4&b- ~'QeN%qadP 由于组件倾斜引起的干涉条纹 =,8Eo"~\ VD&3%G! r5da/*G/O Il`k]X M 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )'dH}3Ba qq7X",s >AX~c
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