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D7Z /H'| KO [Yi ]M=&+c>H~ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 [JiH\+XLPs {c'lhUB 建模任务 W1~0_; X'srL j. %J(:ADu] e
,(mR+a8 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _>+Ld6.T6 T)/eeZ$ C+$#y2"z#n vXs"Dst 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 1}x%%RD_ N8jIMb'< `yyG/l
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